Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9410077 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 9410077
Wafergröße: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein fortschrittlicher vertikaler Ätzer und Ascher für ultrahohe Gleichmäßigkeit und Durchsatz. Es eignet sich hervorragend für die Strukturierung sowohl von Silizium als auch von Nicht-Silizium-Materialien. Diese eigenständige Einheit bietet eine überlegene Prozesssteuerung vom Niederdruckplasma bis zur energiereichen Ionenenergieabscheidung. Das Gerät bietet ein einzigartiges Gaspanel und ein innovatives Gasmischsystem, mit dem Anwender den Prozess exakt auf das Zielmaterial abstimmen können. Mit einem externen Gaspanel kann ein gleichmäßiges In-situ-Ätzen und Reinigen erreicht werden. Eine dreidimensionale optische Einheit liefert eine interne und externe Abbildung der Prozesszone mit einer Auflösung von 250 nm. Innerhalb von Rainbow 4420 ermöglicht ein magnetischer Array-Wellenleiter eine äußerst gleichmäßige Verarbeitung sowohl von planaren als auch von zylindrischen Substraten. In Verbindung mit den Plasmaprozessen der Maschine ermöglicht der Array-Wellenleiter die Anpassung der Parameter an das zu verarbeitende Material. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist für überlegene Funktionsübertragung konzipiert. Die Kombination einer erweiterten Kammer und eines variablen Werkzeugs mit mehreren Ionen ermöglicht eine hervorragende Formelementdefinition bei niedrigen Widerständen. Darüber hinaus kann das Gerät ultra-niedrige Come-Raten und verfügen über Profile mit kleinem Durchmesser bis zu 1,5 μ m mit einem trockenen Ätzprozess. Regenbogen 4420 ist perfekt für die Serienfertigung komplizierter Strukturen. Dies geschieht durch einen erweiterten mehrstufigen Strukturierungsprozess, der hochauflösende Funktionen bis zu 20 nm bereitstellen kann. Darüber hinaus ermöglicht sein mehrstufiges High-Aspect-Ratio-Abscheideverfahren höhere Flächenfüllanforderungen, ohne die Ausbeute zu beeinträchtigen. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist eine zuverlässige und robuste Maschine, die hoch automatisiert ist und eine ausgezeichnete Reproduzierbarkeit aufweist. Die Integration mit der verteilten Intelligenzplattform LAM RESEARCH eliminiert manuelle Fehler und vereinfacht den Datenexport. Darüber hinaus umfasst die Anlage mehrere Sicherheitsmerkmale und eine breite Palette von Schornsteinauswahlen zum Schutz von Personal und Produkten. Insgesamt ist Rainbow 4420 ein leistungsstarker Ätzer und Ascher, der höchste Prozesskontrolle, Funktionsübertragung und Einheitlichkeit bietet. Das einzigartige Gaspanel des Modells eignet sich perfekt für die Anpassung des Prozesses an das angestrebte Material, während sein magnetischer Array-Wellenleiter eine überlegene Funktionsdefinition und Flächenfüllung ermöglicht. LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ideal für die Produktion komplizierter Strukturen mit einer Auflösung von bis zu 20 nm.
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