Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411613 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9411613
Wafergröße: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hine 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard ring
FST Chiller
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist ein Ätzer/Ascher, der unübertroffene Präzision und Produktivität in Halbleiteranwendungen bietet. Rainbow 4420 verfügt über eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen zur Maximierung des Durchsatzes, einschließlich einer leistungsstarken Steuerungsausrüstung, einer Vielzahl von Ätzrezepten und einer präzisen Temperatur- und Druckkontrolle. Das robuste Design des Systems ermöglicht eine höhere Präzision und Konsistenz der Ätz- und Ascheergebnisse. LAM RESEARCH Rainbow 4420 bietet Anwendern die Flexibilität, je nach gewünschtem Prozess zwischen einzelnen Ätz- oder gleichzeitigen Ätz-/Aschezyklen zu wählen. Mehrere Durchläufe können auch zu einer einzigen Operation kombiniert werden. Die Steuerungsmaschine des Geräts verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine schnelle Rezeptureinstellung, Parameteranpassungen und Datenprotokollierung für maximale Prozessoptimierung und Rückverfolgbarkeit ermöglicht. Die Zweiprozesskammern des Werkzeugs ermöglichen die gleichzeitige Durchführung mehrerer Ätzprozesse mit einer separaten Gasförderanlage für jede Kammer. Rainbow 4420 verfügt auch über ein einzigartiges Atmosphärenkontrollmodell, das eine fortschrittliche HF-gesteuerte Gasströmungsausrüstung verwendet, um eine präzise Gasströmungsregelung und eine einheitliche Kammerkühlung bereitzustellen. Das System verfügt auch über eine fortschrittliche Kühleinheit, um konsistente Temperaturen in der Kammer zu halten, so dass wiederholbare und genaue Wafer Ergebnisse. LAM RESEARCH Rainbow 4420 Ätzer/Ascher hat eine Vakuumkapazität von 1 Torr und einen engen Prozesstemperaturbereich von -15 ° bis + 30 ° Celsius. Mehrere Ätz-/Ascherezepte können erstellt und gespeichert werden, wobei jedes Rezept einstellbare Parameter wie Ätzgenauigkeit, -rate, -temperatur und -zeit aufweist. Die Maschine bietet auch eine Reihe von verschiedenen Ätzgasen, ermöglicht das Ätzen von mehr als 20 verschiedenen Materialien, einschließlich Polysilizium, Nickel und Aluminium. Das Tool verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Ausrüstung, wie ein HF-basiertes Interlock-Element, um versehentliche Hochfrequenzstörungen zu verhindern. Regenbogen 4420 ist äußerst energieeffizient konzipiert, mit einem geschätzten Gesamtenergieverbrauch von 14 kWh pro Stunde der Ätzung. Das Gerät verfügt außerdem über einen eingebauten Lüfter und ein Alarmmodell, das das Personal alarmiert, wenn sich das Gerät seiner maximalen Kapazität nähert. LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher ist ein hochmodernes System, das sich ideal für Labore, Unternehmen und Universitäten eignet, die die Produktivität und Präzision ihrer Ätz- und Aschevorgänge maximieren möchten. Dieses Werkzeug mit großer Kapazität liefert präzise und wiederholbare Ergebnisse, so dass Wafer und/oder Komponenten schnell und zuverlässig hergestellt werden können. Mit seiner Benutzerfreundlichkeit, robustem Design und Präzisionskontrolle ist Rainbow 4420 eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die die Produktivität in ihren Ätz- und Aschevorgängen maximieren möchten.
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