Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411620 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9411620
Wafergröße: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher ist eine fortschrittliche Ätz- und Heber-off-Ausrüstung für die mikroelektronische Schaltungsherstellung. Es ist ideal für die dielektrische Abscheidung, ringförmige Ringbildung und Oxidationshärtung. Regenbogen 4420 ermöglicht eine genaue, gleichmäßige Verarbeitung von Substraten bis zu einem Durchmesser von 150 mm mit einer maximalen Höhe von 25 mm für die Abhebebearbeitung. Es enthält eine mehrstufige Prozesssteuerungsoption, die einstellbare Temperatur-, Druck- und Zeitzyklusparameter ermöglicht, um die Prozesswiederholbarkeit und die Produktionseffizienz zu verbessern. LAM RESEARCH Rainbow 4420 nutzt eine Zweikammer-Konfiguration. Die Ätzkammer bietet den Vorteil der atmosphärischen Plasmatechnologie und ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen mit einer sauberen, partikelarmen Arbeitsumgebung. Die Abhebekammer bietet eine automatisierte Handhabung von Substraten sowie einen leistungsstarken magnetisch angetriebenen Fokussiermechanismus für höhere Prozessgenauigkeiten. Die Ätzkammer von Rainbow 4420 wurde entwickelt, um eine saubere Verarbeitung zu ermöglichen, die frei von Resist-, Staub- und Metallpartikeln ist. Die Kammer ist temperaturgeregelt, so dass es einfach ist, Prozesszeiten zu verwalten. Die digitale Steuerung ermöglicht den effizienten Einsatz von Gasressourcen und geätzten Ergebnissen. Die Lifter-Off-Kammer von LAM RESEARCH Rainbow 4420 ist mit einem proprietären, hochleistungsfähigen, segmentierten magnetisch angetriebenen Fokuselement ausgestattet, das hochgenaue Ergebnisse liefert. Die Kammer bietet auch eine Umgehungsstation für die Substratübergabe an die Abhebekammer. Rainbow 4420 verfügt über eine präzise Prozesssteuerung mit einer Vielzahl programmierbarer Parameter, einschließlich Druck- und Temperatureinstellungen. Mit reibungslosem Betrieb und präziser Steuerung kann das Gerät konsistente Ergebnisse erzielen. Es verfügt auch über eine Materialwirtschaftsmaschine, um eine präzise Mischung von Gasen und Chemikalien für eine perfekte Prozesskontrolle zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4420-Tool kommt mit einer intuitiven Windows-basierten Software-Schnittstelle, so dass Bediener die volle Kontrolle über den Ätzprozess sowie den Lifter-off-Prozess haben. Dies ermöglicht eine eingehende Überwachung, Performance-Optimierung und Datenprotokollierung für maximale Kontrolle und Genauigkeit. Rainbow 4420 ist eine anspruchsvolle Ätz- und Heber-off-Maschine, die höchste Präzision und Kontrolle für die mikroelektronische Schaltungsherstellung bietet. Mit seiner leistungsstarken Verarbeitung und präzisen Steuerung kann es Anwendern helfen, Ergebnisse und Produktivität im Herstellungsprozess zu maximieren.
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