Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293712817 zu verkaufen

ID: 293712817
Wafergröße: 8"
Etcher, 8" Gas box (8 MFC) Open cassette type: HINE 38A E-Chuck CRT Monitor Remote monitor Fore-Line Process chamber Gas box CPU type: Pentium 133 MHZ Chamber: ESC, 8" Focus ring Face-upper ring electrode, ceramic Upper electrode Orifice filler, ceramic Upper baffle Lower baffle View window Cathode clamp ring Lifter wafer 4 pin new type Ring colling electrostaic Part number / Description 716-011009-001 / View window 853-001983R005-R / Endpoint dection 810-017086-010 / ESC power supply 853-011054-001 / MKS Chamber manometer 797-093824-203 / Unit pressure control 8130 he sccm 853-031764R-001 / Lift pin cylinder 796-006238-001 / Throttle valve controller 853-013541-002 / Assy throttle valve ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Generator: RF Power cord RF Cable TCU Signal cable TCU Channel to interconnect Part number / Description 5027-000-3 / ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator 853-015130-002 / Assy RF Match gear driven 810-017003-001 / PCB / DIP Transfer: Part number / Description 853-012100-003-C-230S / Robot (ELL and XLL) 853-012600-101 / Load index assy 853-029295-101 / Unload index assy 853-012261-001-4-230D / Inner door 853-140013-001-1-230 / Outer door 605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive 853-029462-001 / XLL Wafer sensor VME PCB: Part number / Description 810-017034-005 / Assy PCB VME 68030 810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO 810-017038-002 / SIO PCB 810-017388-003 / Ethernet address PCB Power supply: Part number / Description 660-091820-001 / DC Power supply: +24V 660-091821-001 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V.
LAM RESEARCH Rainbow 4420B ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, mit hoher Präzision und Genauigkeit zu ätzen und zu aschen. Seine überlegenen Ätz- und Aschefähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen in verschiedenen fortschrittlichen Materialherstellungsprozessen. Rainbow 4420B bietet eine hohe Belastungsrate von bis zu 30 Zyklen pro Stunde und bietet gleichzeitig Präzisionsgleichmäßigkeit, um sicherzustellen, dass jede Kammer ein konsistentes Ätz- und Ascherezept hat. Sein hoher Durchsatz macht es auch effizient, da die richtigen Rezepte verwendet werden können, um schnell mehrere Blätter auf einmal zu ätzen oder zu aschen. LAM RESEARCH Rainbow 4420B umfasst eine Vielzahl von Prozessoptionen, einschließlich Nassprozesse und Trockenprozesse, die eine breite Palette von Anwendungen und Materialien ermöglichen. Der modulare Aufbau ermöglicht eine individuelle Konfiguration, die den Anforderungen jeder Anwendung entspricht. Rainbow 4420B bietet ausgezeichnete Ätz- und Ascheleistungen mit mehreren Kammergrößen und eignet sich somit für große und kleine Volumenanwendungen. Es bietet auch eine Reihe von Temperatur- und Druckregelungsmöglichkeiten. Die Kohlenstofffiltrationstechnologie ermöglicht die Beseitigung organischer Verunreinigungen im Abgas und bietet eine sauberere Umgebung für eine effiziente Bildgebung. LAM RESEARCH Rainbow 4420B ist ein hocheffizienter Ätzer und Ascher mit robusten Eigenschaften und zuverlässiger Leistung. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und seine hohe Leistung machen es zu einer großen Wahl für präzise Ätz- und Ascheanwendungen.
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