Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293712817 zu verkaufen
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ID: 293712817
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
Gas box (8 MFC)
Open cassette type: HINE 38A
E-Chuck
CRT Monitor
Remote monitor
Fore-Line
Process chamber
Gas box
CPU type: Pentium 133 MHZ
Chamber:
ESC, 8"
Focus ring
Face-upper ring electrode, ceramic
Upper electrode
Orifice filler, ceramic
Upper baffle
Lower baffle
View window
Cathode clamp ring
Lifter wafer 4 pin new type
Ring colling electrostaic
Part number / Description
716-011009-001 / View window
853-001983R005-R / Endpoint dection
810-017086-010 / ESC power supply
853-011054-001 / MKS Chamber manometer
797-093824-203 / Unit pressure control 8130 he sccm
853-031764R-001 / Lift pin cylinder
796-006238-001 / Throttle valve controller
853-013541-002 / Assy throttle valve
ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Generator:
RF Power cord
RF Cable
TCU Signal cable
TCU Channel to interconnect
Part number / Description
5027-000-3 / ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator
853-015130-002 / Assy RF Match gear driven
810-017003-001 / PCB / DIP
Transfer:
Part number / Description
853-012100-003-C-230S / Robot (ELL and XLL)
853-012600-101 / Load index assy
853-029295-101 / Unload index assy
853-012261-001-4-230D / Inner door
853-140013-001-1-230 / Outer door
605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive
853-029462-001 / XLL Wafer sensor
VME PCB:
Part number / Description
810-017034-005 / Assy PCB VME 68030
810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO
810-017038-002 / SIO PCB
810-017388-003 / Ethernet address PCB
Power supply:
Part number / Description
660-091820-001 / DC Power supply: +24V
660-091821-001 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V.
LAM RESEARCH Rainbow 4420B ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, mit hoher Präzision und Genauigkeit zu ätzen und zu aschen. Seine überlegenen Ätz- und Aschefähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen in verschiedenen fortschrittlichen Materialherstellungsprozessen. Rainbow 4420B bietet eine hohe Belastungsrate von bis zu 30 Zyklen pro Stunde und bietet gleichzeitig Präzisionsgleichmäßigkeit, um sicherzustellen, dass jede Kammer ein konsistentes Ätz- und Ascherezept hat. Sein hoher Durchsatz macht es auch effizient, da die richtigen Rezepte verwendet werden können, um schnell mehrere Blätter auf einmal zu ätzen oder zu aschen. LAM RESEARCH Rainbow 4420B umfasst eine Vielzahl von Prozessoptionen, einschließlich Nassprozesse und Trockenprozesse, die eine breite Palette von Anwendungen und Materialien ermöglichen. Der modulare Aufbau ermöglicht eine individuelle Konfiguration, die den Anforderungen jeder Anwendung entspricht. Rainbow 4420B bietet ausgezeichnete Ätz- und Ascheleistungen mit mehreren Kammergrößen und eignet sich somit für große und kleine Volumenanwendungen. Es bietet auch eine Reihe von Temperatur- und Druckregelungsmöglichkeiten. Die Kohlenstofffiltrationstechnologie ermöglicht die Beseitigung organischer Verunreinigungen im Abgas und bietet eine sauberere Umgebung für eine effiziente Bildgebung. LAM RESEARCH Rainbow 4420B ist ein hocheffizienter Ätzer und Ascher mit robusten Eigenschaften und zuverlässiger Leistung. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und seine hohe Leistung machen es zu einer großen Wahl für präzise Ätz- und Ascheanwendungen.
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