Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4500 #151093 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 151093
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1991
Oxide etcher, 8"
Standalone configuration
Software: Envision
Wafer held by electrostatic chuck
Plumbed for gases: Ar, He, N2, O2, CF4, CHF3
Power: 208 Volts, 3-phase, 30 Amps
Ergonomic cassette-tilt option
1991 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4500 etcher/asher ist ein fortschrittliches Dual-Use Semi-Atmosphere-System, das präzise und zuverlässige Plasmaätz- und Nassverarbeitungsfunktionen bietet. Es eignet sich für eine Vielzahl von High-End-Advanced-Plating und Ätzanwendungen. Rainbow 4500 kommt mit einer vollständig integrierten x, y, z-Stufe, so dass der Benutzer den Ätz- und Beschichtungsprozess von Anfang bis Ende genau steuern kann. Sein flexibles Design ermöglicht es Benutzern, einen kompletten Prozessablauf unter Verwendung derselben Maschine zu automatisieren. Seine große Kammergröße macht es eine gute Wahl zum Ätzen oder Plattieren großer Substrate. LAM RESEARCH Rainbow 4500 wurde speziell für fortgeschrittene Plasmaätz- und Ascheranwendungen entwickelt. Es verwendet fortschrittliche HF-Netzteile für präzises Ätzen und gleichmäßige Abscheidung. Die erzeugte HF-Energie wird innerhalb der Ätzkammer fokussiert und ermöglicht eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit in allen Ätzanwendungen. Rainbow 4500 ist mit einer Vielzahl von Standardfunktionen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, ihre Ätz- und Beschichtungsprozesse anzupassen. Diese Eigenschaften ermöglichen es dem Benutzer, Prozessvariablen wie Ätzrate, Ätztiefe, Abscheiderate, Filmeigenschaften, Ätzprofil und sogar Schichtdicke zu steuern. Der Asher-Anteil von LAM RESEARCH Rainbow 4500 kann eine Vielzahl von Prozessen bewältigen, einschließlich chemischer Dampfabscheidung und Trockenätzen. Es ist auch in der Lage, Diffusions-, Konturierungs- und Musterprozesse zu steuern. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, einzigartige und komplizierte Strukturen zu erstellen, die mit herkömmlichen Beschichtungsmethoden schwer zu erreichen sind. Rainbow 4500 ist ein Branchenführer für Leistung und Vielseitigkeit. Es bietet hervorragende Ergebnisse bei Verwendung in Verbindung mit High-End-Beschichtungs- oder Ätzverfahren. Die integrierten Funktionen ermöglichen eine präzise und wiederholbare Prozesskontrolle, die sicherstellt, dass jedes geätzte oder plattierte Substrat von höchster Qualität ist. Als solches ist LAM RESEARCH Rainbow 4500 eine gute Wahl für Ätz- und Beschichtungsanwendungen, die beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern.
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