Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293595658 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4500
ID: 293595658
Wafergröße: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4500 ist ein plasmabasierter Ätzer/Ascher, der für Produktion, Forschung und andere Anwendungen entwickelt wurde, die ein präzises Ätzen und Aschen verschiedener Materialien erfordern. Das Gerät eignet sich ideal zum Ätzen und Aschen von Mikroelektronik, Optoelektronik, Bioelektronik und mehr. Es bietet einen hohen Durchsatz mit Zykluszeiten von weniger als 20 Sekunden in einigen Ätzanwendungen und die Flexibilität, eine breite Palette von Ätzparametern zu erreichen, die den Prozessanforderungen in verschiedenen vertikalen Märkten entsprechen. Rainbow 4500 verwendet eine kalte Kathode, induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) und Turbo-Pumptechnologie, um ein Plasma mit hoher Dichte aus chemischen Vorläufern wie SF6, CF4, O2, Ar und anderen Edelgasen zu erzeugen. Sein geringes thermisches Budget bietet eine höhere Kontrolle für empfindliche Materialsubstrate wie GaAs und andere III-V-Verbindungen, während seine fortschrittliche Gleichmäßigkeitskontrolle für Genauigkeit und Wiederholbarkeit für hoch anspruchsvolle Beschichtungs- und Ätzanwendungen sorgt. Das System ist auch mit den neuesten Prozessautomatisierungstechnologien ausgestattet, einschließlich automatisierter Gaszufuhr, Druck- und Temperaturregelung und Plasmaleistungsüberwachung. Das Gerät verfügt über die Möglichkeit, bis zu 15 verschiedene Prozessrezepte einzuprogrammieren, was eine schnelle und effiziente Prozesswerkzeugabstimmung ermöglicht. Darüber hinaus überwachen seine fortschrittlichen Überwachungsfunktionen Substrattemperaturen und Kammerdrücke, um einen sicheren und wiederholbaren Betrieb zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4500 verfügt über einen kleinen Platzbedarf von nur 2 x 3 ft, so dass es leicht in jede Labor- oder Fertigungsumgebung integriert werden kann. Der Ätzer/Ascher verfügt auch über eine breite Palette von Zubehör für eine sichere Verbindung und einfache Installation, sowie eine Bibliothek von Tutorials für eine schnelle und einfache Einrichtung. Die Maschine ist sehr zuverlässig und bietet bis zu 98,5% Betriebszeit in den meisten Anwendungen, so ist es gut für High-Mix-Produktionsanforderungen geeignet. Insgesamt ist Rainbow 4500 ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der eine robuste, aber flexible Plattform für das Ätzen und Ausrüsten von Elektronikkomponenten bietet. Es verfügt über erweiterte Prozesssteuerung, eine breite Palette von Zubehör und zuverlässigen Betrieb, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Produktions- und Forschungsanwendungen.
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