Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293757796 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4500 ist ein reaktives Ionenätzgerät (RIE) für Trockenätzprozesse. Es ist mit einer 26 cm LAM RESEARCH parallelen Platte großflächige Plasmaquelle für CO2/SF6 ausgestattet, die hohe Ätzraten und Gleichmäßigkeit bietet. Das System bietet Platz für 200 mm Wafer und kann gleichmäßig Oberflächen mit einer Reihe von Dotierungsebenen ätzen. Es ist in der Lage, anspruchsvolle Materialien wie Al2O3, SiO2 und organische Materialien zu ätzen. Das Gerät verfügt über 13 Prozesskammern, die anspruchsvollere und präzisere Prozesse zum Ätzen von Wafern ermöglichen. Die Genauigkeit des Ätzprozesses wird mit einem Steuerwaferzuführer verbessert, der eine gleichbleibende Dicke über verschiedene Wafer hinweg aufnehmen kann. Die Maschine hat auch eine Präzisionsgeschwindigkeit, die Zonenprozess schwimmen lässt, dem Ätzenprozess erlaubend, auf die Materialien genau abgestimmt zu werden, die ätzen werden. Weitere Merkmale des Werkzeugs sind eine Temperatur- und Druckregelung, um wiederholbare und konsistente Ätzprozesse zu erzeugen. 4500 kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien, wie Metalloxide, Verbindungen, Nitride, Olefine und andere zu ätzen. Mit seinem Präzisionsätzverfahren und der langfristigen Zuverlässigkeit ist es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter MEMS-Geräte, Nanotechnologie und mikrogefertigte Schaltungen.