Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293772754 zu verkaufen
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ID: 293772754
Etcher, parts system
Missing parts:
Matching box system
Controller
PCP Box
Robots
Pump controller.
LAM RESEARCH 4500 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für den Einsatz in Ätzprozessen entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ist einzigartig für gemustertes Waferätzen konstruiert und ist mit Wafern bis 8 Zoll Durchmesser kompatibel. Das System verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-vollautomatische, programmierbare Vakuumsubstratschieneneinheit für die Serienproduktion. Die einzigartige Computerprozesssteuerungssoftware wird verwendet, um direkt mit der Maschine zu kommunizieren und alle Parameter vom Beginn des Ätzprozesses bis zum Ende zu steuern. 4500 kann zum Ätzen einer breiten Palette von Materialien wie Silizium, Quarz oder Aluminium verwendet werden. Das Werkzeug hat die Fähigkeit, Substrate in einer kontinuierlichen Inline-Bewegung mit einem Ein/Aus-Befehl von Wafern zu ätzen. Es sorgt auch für eine präzise Ausrichtung der Wafer bezüglich der Kapazitätssonden. Das Gerät ist mit reaktiven Gasventilen, Vakuumpumpen und Reglern ausgestattet, um sicherzustellen, dass bei laufendem Gerät keine Gasleckagen auftreten. Dies liefert saubere Prozessergebnisse ohne Beschädigung entweder der Waferoberfläche oder der abgeschiedenen Maske. Es steht ein integriertes nemonisches Laser-Fotoätzmodell zur Verfügung, das die genaue Ausrichtung der automatisierten Ätzgeräte auf das Werkstück ermöglicht. Zu den Sicherheits- und Steuerungsmerkmalen von LAM RESEARCH 4500 gehören die Aufnahme eines Inline-Kontaktfilters, eines belüfteten Lasergehäuses, eines Polymerabgasfilters und einer geschlossenen Abgasanlage. Das System umfasst auch eine statische Abschirmkammer und eine Abgasanlage für gefährliche Prozessmaterialien. 4500 ist eine hochgradig anpassbare Maschine, die Genauigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit für die Produktion der Ergebnisse des Ätzprozesses höchster Qualität bietet. Es ist die perfekte Ergänzung für jede Einrichtung, die automatisiertes Waferätzen und Ätzen anderer Materialien benötigt.
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