Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293640389 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL ist eine Ätz-/Aschemaschine, die fortschrittliche Technologie zum Ätzen und Aschen auf einer Vielzahl von Substraten verwendet, einschließlich Wafern und Metallen. LAM RESEARCH RAINBOW 4520XL bietet ein fortschrittliches System zum Ätzen von Gräben mit hohem Seitenverhältnis sowie ultratiefes Aussparungsätzen und Hochgeschwindigkeitsätzen schwieriger Substrate. Rainbow 4520 XL bietet branchenführende Leistung in seiner Fähigkeit, flache und tiefe Gräben mit konsistenter Gleichmäßigkeit und feinen Liniengrößen zu ätzen. Das Gerät verfügt über eine Hochdruck-Turbostrahlgasfördermaschine, die mit einer hochpräzisen Plasmaquelle integriert ist, die die Produktivität maximiert und zuverlässige Prozessergebnisse liefert. Die Gasfördermöglichkeiten auf dem 4520 XL ermöglichen auch eine Vielzahl von Ätzchemien für unterschiedliche Prozessanwendungen. Das Tool verfügt über eine geschlossene, automatische Spaltabtastanlage, die ein innovatives Dual-Gas-Injektor-Design verwendet, das eine konsistente Gasflussregelung für präzise Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Dieses Modell verwendet fortschrittliche Prozesssteuerungsalgorithmen, um sicherzustellen, dass die optimalen Gasfluss-, Gasdruck- und Ätz-/Ascheparameter konstant erfüllt werden. Die Gasinjektoreinrichtung ist auch für einen optimierten Prozessfluss beim Ätzen mit dünneren Schichten ausgelegt. RAINBOW 4520XL bietet branchenführende Leistung für das Ätzen verschiedener Substrate, einschließlich Edelstahl, Aluminium, Titan und anderen Metallen. Das Hochgeschwindigkeitsätzen dieser Substrate sorgt dafür, dass auch schwierigste Geometrien erreicht werden können. Das System bietet auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, einschließlich integrierter Prozessüberwachung, Fehlererkennung und -diagnose sowie Optimierung der Prozessleistung. Die integrierte Prozessüberwachungseinheit verfügt über eine Vielzahl von Alarmen, die einfach konfiguriert werden können, um die Betreiber auf alle Fehler oder Prozessprobleme aufmerksam zu machen, die behoben werden müssen, und die Fehlererkennungs- und Diagnosemaschine kann wertvolle Rückmeldungen und Prozessdaten zur Identifizierung von Prozessproblemen liefern, die möglicherweise angegangen werden müssen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Schließlich ermöglicht die fortschrittliche Prozessoptimierung die dynamische Anpassung der Ätzrate, Waferposition und Ätz-/Ascheparameter, wodurch höchste Produktivität und Prozessqualität erreicht werden. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL ein Ätz-/Ascherwerkzeug, das Spitzenleistung und Prozessflexibilität für das Ätzen von Wafern und Metallen mit Gräben mit hohem Seitenverhältnis, ultratiefem Aussparungsätzen und Hochgeschwindigkeitsätzen mit hoher Auflösung bietet. Die Anlage wurde entwickelt, um die höchste Prozessqualität, Produktivität und Prozesswiederholbarkeit zu gewährleisten und gleichzeitig den Betreibern erweiterte Funktionen zur Prozessüberwachung, Fehlererkennung und -diagnose sowie Prozessoptimierung zu bieten, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten.