Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #152457 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520 Ultra-High-Durchsatz Ascher und Ätzer ist eine Hochleistungsausrüstung für fortschrittliche Halbleiterbauelemententwicklung entwickelt. Rainbow 4520 ist ideal für die anwendungskritische Batch-Verarbeitung für F&E, Materialwissenschaften und Life Sciences. Das System besteht aus mehreren Kammern, die sowohl im Ätz- (Trocken-) als auch im Aschebetrieb (nass) betrieben werden können. LAM RESEARCH Rainbow 4520 verfügt über eine Präzisionsprozesssteuerung mit einem 300-Grad-Drehofen und insgesamt neun unabhängig gesteuerten Gaseingängen, die eine Vielzahl von Prozessströmen ermöglichen. Ein integrierter eingebetteter Computer ermöglicht es einem Benutzer, jeden Schritt des Prozesses einfach zu programmieren, zu überwachen und zu steuern. Die eingebauten Mehrkammern bieten Flexibilität im Betrieb, mit der Fähigkeit, niedrige, mittlere und hohe thermische Ätzprozesse und Hochtemperatur-Aschen in einer Vielzahl von Konfigurationen laufen. Die Einheit kann einfach in allen Betriebsarten überwacht und gesteuert werden, mit Echtzeit-Überwachung der Temperatur innerhalb der Kammer, so dass die Abstimmung Prozessdurchsatz und Ausbeute zu maximieren. Darüber hinaus verfügt Rainbow 4520 über eine einzigartige HF-Plasmaquelle mit einem Gaseinspritzbehälter und eingebauten Fackeln, die eine gleichmäßige Plasmabearbeitung bei niedrigen Temperaturen ermöglichen und den Durchsatz, die Haftung und die Gleichmäßigkeit erhöhen. Die integrierte HF-Quelle erzeugt ein Low-Power-Plasma, das ideal für die Entwicklung neuer Photoresists, die Verbesserung der Selektivität und die Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Ätzrate ist. LAM RESEARCH Rainbow 4520 verfügt auch über Grenzflächendiagnostik, um die Qualität des Ätz- und Ascheprozesses zu gewährleisten. Mehrere zusätzliche Funktionen machen Rainbow 4520 zu einer zuverlässigen und hervorragenden Ätz- und Aschemaschine. Zu diesen Funktionen gehören ein vollautomatisches, rezeptgesteuertes Übertragungstool und ein Verifizierungs-Asset für Beispielintegrität, das eine Fehlbearbeitung verhindern soll. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4520 eine ausgezeichnete Wahl für alle, die ein Hochleistungs-Ätz- und Aschemodell suchen. Seine ausgeklügelten Eigenschaften und sein robustes Design machen es zu einer idealen Wahl für F&E, Materialwissenschaften und Life Sciences-Anwendungen. Mit einer Vielzahl von Prozessabläufen, Präzisionsprozesssteuerung, integrierter HF-Quelle und Grenzflächendiagnostik bietet diese Ausrüstung hervorragende Leistung und zuverlässige Ergebnisse.