Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9098084 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher, der präzise Mikrobearbeitungsaufgaben mit maximaler Effizienz durchführt. Dieses All-in-One-Gerät bietet integrierte Verarbeitungsfunktionen für Einzelwafer und Chargen mit der Flexibilität, eine Vielzahl von industriellen Anforderungen zu erfüllen. Rainbow 4520 gehört zu den fortschrittlichsten Modellen seiner Klasse und bietet überlegene Produktivität, Leistung und Zuverlässigkeit in einer bequemen Lösung. In Bezug auf seine technischen Spezifikationen hat LAM RESEARCH Rainbow 4520 ein 10-Zoll (254 mm) Lastschloss mit einer Lade-/Entladezeit von nur 8,5 Sekunden für die Einzelwaferbearbeitung und 16 Sekunden für Chargenlasten. Das wird durch ein Hochleistungsoblatentransportsystem erreicht, das durch starke 9 Ampere, 30 W bürstenlosen Gleichstrommotor gesteuert ist. Darüber hinaus bietet Rainbow 4520 eine optimale Ätz-/Aspiratrate von 10 Wafern pro Minute und übertrifft damit seine Konkurrenz. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4520 über eine automatisierte Kammerreinigungseinheit mit einem fortgeschrittenen Dousing-Duschkopf, um eine effektive Reinigung für zwei Substrate gleichzeitig zu ermöglichen. Diese Maschine verfügt auch über eine Reihe fortschrittlicher Prozesssteuerungsfunktionen, die eine optimale Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit gewährleisten. Dies beinhaltet eine genaue Echtzeitmessung und Rückkopplung mehrerer Datenpunkte, die entsprechend den im Rezept eingestellten Parametern angepasst werden. Darüber hinaus verfügt Rainbow 4520 über verschiedene Ätz-/Saugfähigkeiten mit optionaler Etch Plus und/oder Aspirate Plus-Fähigkeit. Dadurch ist eine Vielseitigkeit gewährleistet, um anspruchsvolle Prozessanforderungen vom Basisätzen bis hin zu schwer erreichbaren Seitenverhältnissen zu erfüllen. Das Tool ist weiter mit einer vollautomatisierten Fehlererkennung, Herunterfahren Wiederherstellung und damit verbundene Diagnosen für eine verbesserte Betriebszeit der Anlagen bewaffnet. Schließlich verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4520 über ein High-Boost-HF-Netzteil, um eine höhere Ätzrate zu liefern, indem die HF-Leistung automatisch basierend auf Prozessdruck und Temperatur gesteuert wird. Diese Antriebskapazität wird durch ein Methan-Strömungsmodell mit geschlossenem Kreislauf unterstützt, das darauf ausgelegt ist, einen präzisen Gasfluss aufrechtzuerhalten, um konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten. Eine fortschrittliche automatische Reinigungsfunktion überwacht die Kohlenstoffwerte in der Ätzkammer, um die Verschmutzung zu begrenzen und die Haltbarkeit der Kammer zu verlängern. Insgesamt ist Rainbow 4520 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit hervorragenden Leistungs-, Management- und Automatisierungsfunktionen in einer integrierten Lösung. Mit seiner hohen Produktivität und einer verbesserten Prozesssteuerung ist es das ideale Werkzeug, um präzise Mikromaschinen schnell zu erzielen.