Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9175702 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520
ID: 9175702
Wafergröße: 6"
Etcher, 6" Clamp process kit, 6" Operating system: Envision LAM 2080 Chiller.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist ein branchenführender Ätzer/Ascher für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen. Rainbow 4520 verfügt über eine Dualstrahl-Lasertechnologie für hohen Durchsatz und Produktivität, ein einzigartiges Kammerdesign für optimale Plasmadichte und eine breite Palette von Prozess- und Umgebungssteuerungsoptionen. LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist mit einer Hochleistungs-HF- und DC-Stromquelle ausgestattet, mit der Benutzer ihre Prozesse durch unabhängige Steuerung beider Quellen anpassen können. Der Ätzer/Ascher bietet eine Vielzahl von Prozessrezepten, die eine Vielzahl von Ätz-, Asche-, Ablagerungs- und Reinigungsprozessen ermöglichen. Alle Prozesse sind auf verbesserten Durchsatz und Ertrag optimiert. Das einzigartige Kammerdesign von Rainbow 4520 bietet eine effiziente Nutzung der Energie des Dual-Strahl-Lasers und eine gleichmäßige Plasmadichte. Dies ermöglicht sehr feinteilige Prozesse mit minimaler Leckage, wodurch der manuelle Eingriff reduziert wird. Die Kammer verfügt auch über mehrere Quellen für reaktive Arten und ein PECVD-Vakuum für eine verbesserte Prozesssteuerung. LAM RESEARCH Rainbow 4520 bietet auch ein komplettes Paket von proprietären Software-Tools, von der Prozessautomatisierung bis zur Prozessüberwachung und Datenprotokollierung. Darüber hinaus unterstützt die Anlage Messtechnik und Sensortechniken wie Profilometrie, Spektroskopie, Ellipsometrie und berührungslose Optik, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten. Das umfassende System ermöglicht eine umfassende Prozesssteuerung über alle Ätz- und Ascheprozesse hinweg. Rainbow 4520 ist mit einer umfassenden, benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, um eine sichere und benutzerfreundliche Bedienung zu gewährleisten. Die Einheit wird für präzise wiederholbare Prozesse verifiziert und kalibriert, wobei die Fähigkeit zur weiteren Kalibrierung oder Verfeinerung auf Basis von User-Feedback besteht. Der Computer bietet auch Remote-Zugriff für Remote-Datenspeicherung und -unterstützung, um sicherzustellen, dass der Kundensupport bei Bedarf verfügbar ist. LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist ein idealer Ätzer/Ascher für die Großserienproduktion, der entwickelt wurde, um schnellere Zykluszeiten und höhere Erträge als herkömmliche Lithographie- und Ätzwerkzeuge zu erzielen. Mit seinen leistungsstarken, robusten Funktionen und der benutzerfreundlichen Schnittstelle ist Rainbow 4520 ein Branchenführer für fortschrittliche Ätz- und Ascheanwendungen.
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