Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9176778 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um die Produktion fortschrittlicher elektronischer Produkte in hoher Stückzahl zu ermöglichen. Die 4520 ist eine Hochdurchsatz-Plasmabearbeitungslösung, die für dielektrische Ätz- und Ascheanwendungen optimiert ist. Es ist in der Lage, bis zu 5 Wafer pro Zyklus zu verarbeiten, und ist für den Betrieb mit einer breiten Palette von Gasen, einschließlich Fluoroform, Stickstofftrifluorid, Schwefelsäure und XeF2, ausgelegt. Die 4520 ist auch voll kompatibel mit positiven und negativen Wafer Vorspannungsbedingungen. Das Etcher/Asher-System wird in der Halbleiterherstellung, der LED-Produktion und anderen fortschrittlichen elektronischen Produktlinien verwendet. Es kann hohe Ätzraten und eine enge Prozesskontrolle mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit erreichen, was es zu einer idealen Lösung für die Serienproduktion macht. Das Gerät hat die Fähigkeit, Ätzungen auf mehreren Ebenen und Sequenzen mit Parametereinstellungen durchzuführen, die in seinem erweiterten Software-Algorithmus gespeichert sind. Rainbow 4520 verfügt über ein großes 8-Zoll-LCD-Touchscreen-Display, mit dem Bediener Parameter einfach anpassen, Ätzraten überwachen und den Status überprüfen können. Es ist in der Lage, automatisierte Plasmaströme auszuführen, um die Prozessgenauigkeit und den Durchsatz zu maximieren. Es ist auch mit einem innovativen Gasbehälter ausgestattet, um einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten. Die Maschine verfügt über eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, wie hochstabile Sollwertsteuerung und Echtzeit-Rückkopplungssteuerung, um die Wiederholbarkeit der Prozesse von einer Charge zur nächsten sicherzustellen. Es verfügt auch über ein erweitertes Kammerkontrollwerkzeug, das das Vorhandensein von Partikeln und Verunreinigungen im Gasstrom erkennen kann und eine automatische Anpassung ermöglicht, um wiederholbare Prozesse sicherzustellen. LAM RESEARCH Rainbow 4520 kann auch in andere Prozessanlagen wie Trockner und Lastschlösser integriert werden, um eine vollständig integrierte Produktionsanlage zu schaffen. Es ist ein robustes, hochgenaues Ätz- und Aschemodell, das darauf ausgelegt ist, Leistung auf Industriestufe mit minimalen Wartungsanforderungen zu bieten.
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