Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9221215 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist eine ideale fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es bietet die Möglichkeit, Schichten aus Silizium, Metallen und organischen Materialien in Scheiben von bis zu 300 mm Größe zu ätzen und zu aschen. Rainbow 4520 verwendet eine ausgeklügelte Quelle für linear induktiv gekoppeltes Plasma (LICP), um sehr wiederholbare, homogene Prozessergebnisse zu erzielen. Die LICP-Quelle kann so abgestimmt werden, dass die gewünschten Plasmaparameter für den Ätz- oder Ascheprozess im Bereich von 0-500 W für das Ätzen und 0-200 W für das Aschen erzeugt werden. Die fortschrittliche Wafer-Handhabungs- und Transporttechnologie wird verwendet, um eine genaue Wafer-Beladung zu gewährleisten, und das System ist mit einem APS-Mechanismus (Automatic Plasma Slab Expansion Control) ausgestattet, der Plasma-Beladungsprobleme im Zusammenhang mit Kammerreinigungsvorgängen verhindert. Die Kammer von LAM RESEARCH Rainbow 4520 hat ein maximales Prozessvolumen von 360 Litern und ist mit einem HF-Generator umschlossen, um die Abscheidung von Schurkenarten an den Kammerwänden zu verringern, was ihre Zuverlässigkeit weiter unterstützt. Darüber hinaus stehen mehrere Kammervorreinigungs- und Reinigungsoptionen zur Verfügung, um die höchste Wiederholbarkeit der Prozessergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine nutzt auch eine Reihe von Druck- und Strömungsreglern, um eine genau gesteuerte Umgebung innerhalb der Kammer zu erhalten. Der Vakuumspiegel kann auf mindestens 1 mTorr eingestellt werden, wodurch ein möglichst niedriger Basisdruck für den Waferprozess gewährleistet wird. Regenbogen 4520 ist in der Lage, eine Reihe von Prozessgasen wie Argon, SF6, Sauerstoff, N2, O2 und NF3 genau zu verwenden, wie durch das Prozessrezept definiert. LAM RESEARCH Rainbow 4520 verfügt auch über digitale und analoge Anzeigegeräte sowie Software für die Entwicklung fortschrittlicher Rezepte, so dass der Benutzer wiederholbare, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse erzielen kann. Das Gerät ist auch in der Lage, die Überwachung und Protokollierung während eines Rezepturzyklus zu verarbeiten und bietet fortschrittliche Funktionen wie Überdruckschutz, Prozess-Fenster-Mapping und Dual-Platen-Design für eine verbesserte Wiederholbarkeit des Reinigers, was weiterhin hohe Prozesserträge garantiert. Die Maschine wurde auf ultra-langfristige Wiederholbarkeit und Genauigkeit ausgelegt und getestet und kann über eine Remote-Konsole gesteuert werden, wodurch Benutzer nicht in unmittelbarer Nähe sein müssen. Rainbow 4520 ist die ideale Lösung für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.