Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9280619 zu verkaufen
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ID: 9280619
Wafergröße: 6"
Oxide etcher, 6"
Gases:
Gas 1 / AR
Gas 2 / CF4 / SF6
Gas 3 / CHF3
Gas 4 / HE
Gas 5 / O2
UPC HE
Standard gas box
Calibration
Gas weldment polish
Bottom gas panel exhaust
Wafer transfer:
Open cassette exit, 6"
Entrance load lock wafer holder
Hinge 38A receiver / Sender indexer
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
AC power:
Fuses for AC/DC power box
AC Input power supply: 208 V, 3 Q, 5 W, 30 A
RF Power supply: 2.2 kW, 400 kHz
Chamber configuration:
Envision system with CRT
Bulkhead system mount
Chamber with variable gap electrode
Automatic match system
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochromatic
ESC Chuck and module
Viton O-ring all change
Standard clean gas box
Pressure control system:
APC Controller
Throttle valve
Isolation valve open / Close type
Upper and lower electrode temperature control:
Chiller type: 2080 TCU
Dual system
Vacuum system
Main chamber: EDWARDS QDP80+QMB250
Pump / IH600
Load lock chamber: EDWARDS QDP80
Dimension and facility
Physical dimensions
Power requirements
Exhaust requirements
Cooling water
Nitrogen
Compressed air: CDA / N2.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen geeignet ist. Es ist in der Lage, überlegene Leistung, Qualität und Produktivität zu liefern. Mit einem optimierten Kammerdesign, das einen schnellen Durchsatz ermöglicht, ist Rainbow 4520 eine zuverlässige und produktive Ätzausrüstung. LAM RESEARCH Rainbow 4520 liefert hervorragende Prozessergebnisse bei minimaler Partikelverunreinigung. Es verfügt über eine hocheffiziente Turbopumpe sowie leistungsstarke Chemie- und Ätzverfahren, um einen hohen Durchsatz mit hervorragenden Qualitätsergebnissen zu erzielen. Zusätzlich verfügt der Ätzer über ein Schnelllade- und Entladesystem zur weiteren Optimierung des Produktionsprozesses. Rainbow 4520 verfügt zudem über eine innovative UHP-Gaseinheit (0-1-1 Ultra-High-Pressure), die die Herstellung anspruchsvoller, strukturierter Geräte mit geringen Spannungsprofilen ermöglicht. Die Maschine verfügt über hochmoderne Abscheidewände, erweiterte Gasplatte und Prozesskammer und einen Temperaturregler, um Partikel- und Defektverschmutzung zu minimieren. Die Asher-Technologie ermöglicht eine hervorragende Schichtgleichförmigkeit, schnelle Zykluszeiten und hohe Produktivität. LAM RESEARCH Rainbow 4520 bietet erstklassige Ascherleistung für maximale Geräteausbeute und ausgezeichnete Profilgleichförmigkeit bei höheren Materialbearbeitungsmengen. Das Werkzeug ist mit einer robusten Prozesssteuerung ausgestattet, die für Qualitätskontrollen und Prozessabstimmung geeignet ist. Rainbow 4520 unterstützt auch fortgeschrittene Faltenbälge und Prallkomponenten, die ein effizienteres HF-basiertes Ätzen bei extrem niedrigen Drücken ermöglichen. Darüber hinaus kann das Asset mit einzigartigen Sensordiagnosen konfiguriert werden, die ein schnelles Prozess-Feedback, Online-Wartung und eine kontinuierliche Verbesserung der Ätzleistung und -rendite ermöglichen. Schließlich ist LAM RESEARCH Rainbow 4520 ein kostengünstiges Präzisionsätzmodell, das überlegene Produktivität, Qualität und Durchsatz in einem kostengünstigen Paket bietet. Mit einem integrierten Controller und einer Vielzahl von Optionen ist Rainbow 4520 eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleitergeräteherstellung.
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