Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9296845 zu verkaufen
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ID: 9296845
Wafergröße: 8"
Oxide etcher, 8"
Clamp
Gas supply:
Gas / Range / Connection size
He / 1 SLM / 1/4" VAC Male
O2 / 20 SCCM / 1/4" VAC Male
N2 / 100 SCCM / 1/4" VAC Male
Ar / 1 SLM / 1/4" VAC Male
CF4 / 400 SCCM / 1/4" VAC Male
CHF3 / 100 SCCM / 1/4" VAC Male
(4) PCW
Connection size: 3/8" SWG Male
ISO 80 Vacuum
NW-60 Vacuum
CDA QC6 Connector
RF Unit:
(2) PCW
Connection size: 3/8" SWG Male
Power supply: 208 V, 5 Wires, 30 A, 50/60 Hz, 3 Phase
Power box:
Power supply: 208 V, 5 Wires, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die Wärmeübertragung von Energie verwendet, um eine Vielzahl von Materialien herzustellen. Es wird hauptsächlich zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben und integrierten Schaltungen sowie zur Maskierung, Planarisierung und Oberflächenmodifizierung verwendet. Das System kommt ausgestattet mit einer geradlinigen 3-Achsen-Hochleistungsachseneinheit, dynamischer kapazitiver Prozessdruck-Kontrolle und einem regulierbaren Prozessraum. Die 3-Achsen-Maschine ist in der Lage, wiederholbare Prozesse bis zu 300 mm/s durchzuführen, wodurch präzise Muster hoher Dichte erzeugt werden können. Der dynamische kapazitive Prozessdruck dient zur Steuerung der Materialabtragsraten und gewährleistet gleichmäßige Ätzraten über die Materialoberfläche. Darüber hinaus bietet die Prozesskammer eine maximale Temperatur von 45 ° C, so dass Materialien bei niedrigen Temperaturen verarbeitet werden können, was eine Beschädigung der Arbeit minimiert. Die intuitive Benutzeroberfläche von Rainbow 4520 macht den Zugriff auf erweiterte Prozessparameter einfach. Es bietet ein Prozesskontrollpaket einschließlich Rezeptentwicklung, Wafer-Tracking und Prozessüberwachung. Darüber hinaus ist eine Echtzeit-Rückkopplung vorgesehen, um sicherzustellen, dass jeder Wafer genau verarbeitet wird. Mit dem LAM RESEARCH Rainbow 4520-Tool können Anwender die Oberfläche einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Tantal transformieren. Dieses mehrschichtige Werkzeug kann zum Ätzen, Aschen, CVD und widerstehen Strippen mit Präzision verwendet werden. Es bietet auch eine präzise Steuerung des Drucks und der Temperatur und ermöglicht eine präzise Einstellung der Ätz- und Ascheprozesse. Rainbow 4520 kommt auch mit einer Reihe von Zubehör, wie Lastschlösser, Temperaturkontrollmodule und eine Inertgaszufuhr Asset. Dieses Zubehör ermöglicht es Benutzern, die Ätz- und Ascheprozesse genau zu steuern und so sicherzustellen, dass die Ergebnisse genau sind. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4520 ein leistungsstarkes Ätz-/Aschermodell, das eine präzise Prozesskontrolle bietet. Es ist speziell für die Herstellung von integrierten Schaltungen hoher Dichte konzipiert, so dass komplizierte Muster erzeugt werden können. Darüber hinaus ist die intuitive Benutzeroberfläche und das Zubehörsortiment eine ideale Ausstattung für eine Vielzahl von Anwendungen.
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