Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300069 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520
ID: 9300069
Wafergröße: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Metallschichten sicher und präzise auf eine Vielzahl von Substraten abzuscheiden. Der Ätzer/Ascher weist eine Sechs-Gas-Konfiguration auf, die es dem Anwender ermöglicht, die Zusammensetzung und die Abscheiderate des zu verarbeitenden Materials genau zu steuern. Die 4520 nutzt eine vertikal montierte Prozesskammer mit einer großen Kapazität, so dass Benutzer mehrere Chargen gleichzeitig verarbeiten können. Die erweiterten Fähigkeiten von Rainbow 4520 bieten Benutzern die vollständige Kontrolle über die Dicke, Gleichmäßigkeit und Form des abgeschiedenen Metalls. Es hat den höchsten erreichten Durchsatz unter Ätzern/Aschern seiner Klasse, mit Abscheideraten bis zu 1500 nm/min. Der 4520 ist zudem mit patentiertem Process Control Engineering (PCE) ausgestattet, einer geschlossenen Technologie, die die Abscheiderate und Zusammensetzung präzise auf optimale Ergebnisse überwacht und es Anwendern ermöglicht, schnell und präzise zwischen verschiedenen Prozessen zu wechseln. LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist einfach zu bedienen und bietet ein hohes Maß an Automatisierung, so dass es einfach ist, Batch-Prozesse einzurichten und durchzuführen. Die intuitive Steuerung ermöglicht es Benutzern, den Prozess von separaten Displays zu überwachen, so dass sie bequem die Parameter einstellen und eine Vielzahl von Rezepten ausführen können. Der 4520 verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, darunter eine integrierte Datenerfassungssoftware, ein automatisiertes Rezeptmanagement und eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie Prozesskammervakuum, Gasfluss und Stickstoffdrucküberwachung. Die robuste Konstruktion von Rainbow 4520 gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb auch in extremen Umgebungen. Der Ätzer/Ascher verwendet einen Rahmen aus schwerem, Edelstahl mit geringer Vibration und hoher Stabilität. Die Kammer besteht aus Edelstahl und ist abgedichtet, um Verunreinigungen zu verhindern. Ein automatisch zugeordneter Lader ermöglicht es Benutzern, Substrate bequem zu laden und zu entladen, so dass Ressourcen effizient genutzt werden können. Der 4520 verfügt über eine hocheffiziente Abgasanlage mit aktiven Filtern, um sicherzustellen, dass alle Gase und Partikel schnell und sicher aus dem Gerät entfernt werden. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4520 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der hohe Leistung, einfache Bedienung und robuste Konstruktion bietet. Die Sechs-Gas-Konfiguration, die hohe Abscheiderate und die fortschrittliche Prozesskontrolle machen es ideal für die Metallabscheidung, während der automatisch abgebildete Lader und die effiziente Abgasmaschine für Sicherheit und Komfort während des Betriebs sorgen.
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