Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300070 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der hohe Leistung und effiziente Ergebnisse liefert. Es ist ein revolutionäres Ätz- und Aschesystem, das entworfen ist, um selbst die schwierigsten Substrate schnell und genau zu ätzen und zu aschen. Rainbow 4520 hat eine 200mm Batch Ellenbogen Konfiguration, so dass es 96 Substrate gleichzeitig verarbeiten. Es ist mit einem leistungsstarken 21-Kammer-System ausgestattet, das in der Lage ist, verschiedene Arten von Substraten mit hervorragender Leistung zu aschen und zu ätzen. LAM RESEARCH Rainbow 4520 verfügt auch über eine Spitzentechnologie - sequentielles Plasma-gestütztes Ätzen (SPA), das es erlaubt, strenge Genauigkeit beim Ätzen und Aschen zu erhalten. Die hochdruck- und temperaturgesteuerte Prozesskammer von Rainbow 4520 ermöglicht es, den Durchsatz und die Steuerbarkeit zu verbessern. Darüber hinaus hilft der für die Trocknung optimierte Plasmagenerator auch, seinen Prozess schnell und mit verbesserter Steuerbarkeit durchzuführen. Es ist mit einer verteilten Gleichmäßigkeitskontrolle ausgestattet, die die Ätzraten über das gesamte Substrat ausgleicht. Es verfügt über eine verbesserte CD-Gleichmäßigkeitsschutzfunktion, um eine einheitliche Ätzrate zu erhalten. Diese Funktion stellt sicher, dass die CD-Einheitlichkeitsspezifikationen auch bei kritischen Gerätetechnologien eingehalten werden. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4520 über eine automatische Rettungsfunktion, die eine gute Ätzrate auch bei Vorhandensein von Hotspots oder Maskenfehlern wiederherstellt. Rainbow 4520 verfügt auch über ein integriertes Edge Bias System (EBS), um die Ungleichmäßigkeit innerhalb des Wafers zu minimieren. Diese Funktion zusammen mit der ChemRanging-Funktion hilft, Waferätzleistung und Durchsatz zu maximieren. LAM RESEARCH Rainbow 4520 ist eine ideale Wahl für hochmoderne Gerätetechnologieprozesse und eine perfekte Ergänzung zu jeder Halbleiterätzanlage.