Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293622809 zu verkaufen
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ID: 293622809
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
Bulkhead
Hine indexer
Isotropic chamber with ADVANCED ENERGY AxZ match
ADVANCED ENERGY RFG 1250 ISO RF Generator
(2) Gas line ISO chambers
Perimeter lift ceramic ESC
ADVANCED ENERGY PDW 2200 Main chamber RF generator
(6) Gas lines main chambers
RF Cart
Remote power module.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher für Anwendungen wie Direktschreiben und 3D-Geräteherstellung. Es bietet eine Reihe von Funktionen, wie eine hochauflösende Stepper, breite Wafer Größenbereich, und eine große Bibliothek von Rezeptsätzen, die es eine ideale Wahl für viele Branchen machen. Rainbow 4520i nutzt ein fortschrittliches Stepper-Design mit einer großen Anzahl von Positionierpunkten und einer effizienten Antriebsausrüstung. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit und schnelle Positionierung über die gesamte Oberfläche eines Wafers. Der Stepper ist in der Lage, Strukturierungen mit Mikron-Auflösung zu erzeugen und kann sowohl Standard- als auch komplexe Geometrien präzise in die Oberfläche des Wafers einätzen oder einaschen. Das System ist außerdem mit einer Laser Alignment Unit (LAS) ausgestattet, die den Wafer vor jedem Bearbeitungsschritt automatisch für höchste Genauigkeit ausrichtet. Die Maschine kommt mit einer breiten Palette von Wafergrößen, mit einem maximalen Durchmesser von bis zu 13 Zoll. Es kann Substrate unterschiedlicher Dicke, Materialien wie Silizium, Quarz oder Keramik und auch mehrere Wafer auf einmal behandeln. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4520i über eine Vielzahl von Rezeptsätzen, um die Prozessparameter schnell an die Anforderungen der Anwendung anzupassen. Rainbow 4520i wird von der LAM RESEARCH flexFAB Software angetrieben, die eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und eine Echtzeit-Videoüberwachung des Ätz-/Ascheprozesses bietet. Die Software ist so konzipiert, dass es einfach ist, Rezepte einzurichten und zu speichern, Daten über den Status eines Prozesses zu erfassen, das Werkzeug für höhere Genauigkeit zu kalibrieren und die Prozessparameter für eine Reihe von Materialien anzupassen. Die Software bietet auch eine Reihe von Asset-Diagnosen, wie die Prüfung der Qualität des Musters, über Ätzen und Umweltdaten Protokollierung. LAM RESEARCH Rainbow 4520i ist ein vielseitiges, leistungsstarkes Etch/Asche-Modell, das den Anforderungen der fortschrittlichen Geräteherstellung gerecht wird. Mit einem hochauflösenden Stepper und einer Vielzahl von Prozessparametern ist Rainbow 4520i in der Lage, überlegene Ergebnisse in Standard- und komplexen Geometrien zu erzielen. Es kommt auch mit einer Reihe von innovativen Funktionen und eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche für eine vereinfachte Prozesssteuerung verpackt. Die Ausrüstung ist ideal für eine Reihe von Branchen, vom Halbleiter bis zur Herstellung optischer Bauelemente.
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