Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9114147 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9114147
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
SMIF
Isotropic chamber
(26) Slots
Chamber:
Single chamber with variable gap electrode
Main chamber:
(6) Gases
RF Generator model: PDW-2200
RF Power supply: 2.2 kW & 400 kHZ
Isotropic chamber:
(3) Gases
RF Generator model : RFG1250
RF Power supply: 1.2 kW & 13.56 MHz
Automatic match system (LOFAT)
ISO Chamber matcher (AE Matcher AZX 10)
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochronometer
ASS’Y ELCTD,ESC,8”,SEMI: 839-440462-308 (High resist ESC)
Semi open loop back HE cooling
OBITAL Gas box configuration
XLL Wafer detector sensor
Remote interface
Viton O-ring
N2 Ballast Kit
Standard clean gas box
Remote AC control box
Wafer transfer:
Cassette to cassette (Hine 38A indexer)
Pick & place single wafer transport with non contact wafer alignment & flat zone orientation
System controller:
ENVISION E1.5.2 Control system with LCD Monitor
Pressure control:
Automatic pressure control AC-2: Main chamber / Isotropic chamber
Process gas configuration:
Standard clean gas box with 9 MFC's for reaction
Make Model Gas Full scale
MILLIPORE FC-2900V Ar 1000
MILLIPORE FC-2900V CF4 100
MILLIPORE FC-2900V CHF3 100
MILLIPORE FC-2900V He 1000
MILLIPORE FC-2900V O2 500
MILLIPORE FC-2900V N2 100
MILLIPORE FC-2900KZ NF3 1000
MILLIPORE FC-2900V He 500
MILLIPORE FC-2900V O2 100
Main frame / System controller:
(2) Indexers line 38A (853-012600-101, 853-012600-102)
ISO Chamber top gatch (AE Matcher AZX 10) 660-021964-001
Process chamber:
ESC 8" Notch, ceramic 839-440462-308
Electrode, silicon, hi temperature, polish, 8" 839-011907-913
Remote frame:
Chiller: SMC INR-497
Pump:
AA70W
(2) AA40W
Power requirements:
Etcher: 208 V, 3 Phase, 30 A, 5 Wires
RF Cart: 208 V, 3 Phase, 50 A, 5 Wires
1995 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i Ätzer/Ascher ist ein hochentwickeltes und zuverlässiges Gerät, das bei der Herstellung von Leiterplatten verwendet wird. Es ist so konzipiert, dass kritische Komponenten präzise und präzise geätzt und geascht werden. Rainbow 4520i verwendet revolutionäre neue Technologie, um ein konsistentes und zuverlässiges Ätzen oder Aschen von Wafern zu gewährleisten. Der Ätz-/Ascher-Prozess ist notwendig, um kleine Strukturen und Merkmale auf Wafern zu erzeugen. LAM RESEARCH Rainbow 4520i verfügt über eine hochenergetische Chlordioxid (ClO2) -Chemieausrüstung, die eine überlegene Ätzrate, Oberflächenselektivität, Gleichmäßigkeit und Kantenprofilqualität bietet. Dieses System macht viele Ätzprozesse überflüssig, so dass der Prozessfluss verbessert werden kann, und lässt ihn kostengünstig bleiben. Der Ätzer/Ascher ist mit einem hochpräzisen optischen Teilsystem ausgestattet, mit dem Benutzer den Bearbeitungsbereich eng definieren können. Das optische Teilsystem verfügt zudem über eine hohe Energiesteuerung und enthält einstellbare Druckdüsen zur weiteren Prozessoptimierung. Um maximale Produktivität zu gewährleisten, enthält Rainbow 4520i auch eine automatisierte Waferaustauscheinheit und eine automatische Ladefunktion, um die Verarbeitungsschritte zu beschleunigen. LAM RESEARCH Rainbow 4520i verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine einfache und intuitive Möglichkeit bietet, komplexe Ätz- und Ascherprozesse zu verwalten. Die einfach zu bedienende grafische Oberfläche ermöglicht es Anwendern, die Wafer-Prozessparameter schnell auf optimale Ergebnisse einzustellen und anzupassen. Um die Produktivität weiter zu steigern, ist Rainbow 4520i mit einer automatischen Selektivitätskompensationsfunktion ausgestattet, die Prozessparameter optimiert, um bestmögliche Ergebnisse zu erzielen. Weitere Funktionen von LAM RESEARCH Rainbow 4520i beinhalten eine integrierte Funktion, um Prozessdaten zu verfolgen, Ergebnisse schnell und genau zu ermitteln, den zukünftigen Durchsatz vorherzusagen und Rezepte nach Bedarf anzupassen. Für zusätzlichen Benutzerfreundlichkeit enthält die Maschine auch einen Standard-USB-Port, mit dem sie direkt an einen Computer oder ein Netzwerk angeschlossen werden kann. Insgesamt ist Rainbow 4520i Ätzer/Ascher ein überlegenes Werkzeug, um überlegene Ergebnisse beim Ätzen und Aschen kritischer Komponenten zu erzielen. Es ist leistungsstarke Funktionen, intuitive Benutzeroberfläche und fortschrittliche Automatisierung machen es zu einem Branchenführer in der Ätz- und Aschetechnologie.
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