Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9180717 zu verkaufen
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ID: 9180717
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2004
Dry etcher, 6"
Clamped chuck
Verity enhanced endpoint detection
Hines indexers
Matching network: LoFat
ISO Matcher: Yes
Top and bottom RF cables: Standard
Chamber process kit parts:
Pick and place wafer transport with non-wafer contact optical alignment
Inductive RF auto tuning: Fast accurate RF tuning for precise control
Active temperature control of upper and lower electrodes
Vacuum load-locked low pressure oxide system
Parallel plate reactor: Proven etch technology
Variable gap spacing: Wide process flexibility
Integrated isotropic-anisotropic etching
(2) Active chambers
Flat notch orientation
Upper and lower baffles
Electrode clamp ring
Attachment ring
Filler ring lower clamp
Focus ring edge lower
Vespel confinement ring
Bottom wafer clamp
Bell jar
Single wafer
4520i Isotropic etch chamber:
Integrated into entrance load-lock
1250 Watt solid state
Water cooled remote isotropic chamber RF generator
RF Match housing resides at the left side of the isotropic module
(3) MFCs For isotropic chamber
Pressure controller for helium backside wafer cooling
Hinged upper housing of isotropic chamber
Air blower assembly
OEM Specifications / Typical results:
Dry pumps / Chiller not included
Selectivity BPSG/TEOS to poly: >15:1
Thermal oxide etch rate: ≥ 4500A/min
BPSG Etch rate: >7500 A/min
TEOS Etch rate: >5000 A/min
Particles: 0.3μm size
Uniformity: +/- 10% 3
4520 Anisotropic etch chamber:
Single wafer etch: Individual wafer etch
Wafer temperature control:
Reduced loading effects
Profile control with extended over etch
LAM RF Generator rack:
Main RF generator
ISO AE RFG 1250 RF Generator
2004 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i wet etcher/asher ist eine hochmoderne Plasmaätzanlage für eine Vielzahl von Materialien wie Aluminium, Kupfer, Silizium und andere Hartmetalle. Das System hat eine hohe Wiederholbarkeit und ist für hochpräzise Halbleiteranwendungen ausgelegt. Mit einer Standardzelle liefert Rainbow 4520i einheitliche, wiederholbare Ergebnisse während des gesamten Ätzzyklus. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine, die in Echtzeit die Wafertemperatur und den Druck steuert und gleichzeitig die Ätzzykluszeit optimiert und die Ätzlösung schont. Das Werkzeug ist mit einer variablen Frequenzstromquelle und einer erweiterten Elektronen-Zyklotron-Resonanzquelle (ECR) ausgestattet, um ein gleichmäßiges, isotropes Ätzen über die Waferoberfläche zu erhalten. Das Gas und/oder die Dämpfe werden gemischt und nach Bedarf für eine bestimmte Art von Substrat und abgeschiedenem Material geregelt. Die Verwendung eines digitalen Reglers ermöglicht eine präzise Regelung der Leistungsstufen, Temperatur und Ätzdauer. Die Anlage unterstützt auch eine Vielzahl von Kühlstrategien, die eine einheitliche thermische Kontrolle der Waferoberfläche ermöglichen. Es enthält ein fortschrittliches Verunreinigungskontrollmodell, das eine qualitativ hochwertige Ätzoberfläche beibehält. Die Verunreinigungsregelung wird durch ein einzigartiges Waschsystem erleichtert, das eine Kombination aus einer Weichbürstenwäsche und einer Mikroflussreinigungstechnik verwendet. Das Gerät umfasst auch eine Reihe von Werkzeugen und Zubehör, um spezifische Materialätzanforderungen zu erfüllen. Es ist mit einer Reihe von Hubstiften und flexiblen Düsen ausgestattet, um verschiedene Muster und Größen zu ätzen. Darüber hinaus unterstützt die Maschine auch mehrere Gase und/oder Dämpfe, um verschiedene Ätzflächen zu schaffen, die von extrem tiefem Ätzen bis zu flachem Ätzen reichen. Insgesamt ist LAM RESEARCH Rainbow 4520i Ätzwerkzeug ein effizientes Stück Maschinen mit verschiedenen Funktionen, die genaue und wiederholbare Ätzergebnisse liefern, die unübertroffen sind. Seine fortschrittlichen Funktionen ermöglichen es ihm, mehrere Arten von Materialien zu ätzen und seine Prozesskontrolle hilft, den Ätzprozess einheitlich und konsistent zu halten. Die flexiblen Düsen und mehrere Gase bieten eine Reihe von Ätzstilen von extrem tiefen Ätzen bis zu flachen Ätzen. Die ausgeklügelte Technologie der Ätzmaschine macht sie zu einem der besten auf dem Markt.
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