Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9189899 zu verkaufen

ID: 9189899
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LAM RESEARCH Rainbow 4520i ist eine Hochleistungs-Nassätzanlage, die für die fortschrittliche Verarbeitung in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein hocheffizientes, benutzerfreundliches, kostengünstiges und vielseitiges Ätzsystem. Rainbow 4520i verfügt über eine funktionsspezifische, automatisierte Bearbeitungsstation, die eine präzise Temperaturregelung für eine breite Palette von hochwertigen Halbleiterbauelementen bietet. Die Einheit verfügt über umfassende Prozess- und Rezeptverwaltungsfunktionen, die ein schnelles und einfaches Einrichten und Abrufen vordefinierter und kundenspezifischer Rezepte ermöglichen. Dazu gehören die mehrstufige Rezeptentwicklung aus auswählbaren Parametern sowie die Rezeptbearbeitung vor Ort. Außerdem hat die Reihe von Rainbowi CCD, der Scheibe-für-Scheibe Fähigkeiten kontrolliert, Echtzeitqualitätssicherung bietend. LAM RESEARCH Rainbow 4520i Maschine hat einen robusten, Edelstahl, vordere Ladekammer mit Dual-Prozess-Gasventile und integrierten HF-Generator. Die Vakuumkammer ist für einen reibungslosen und zuverlässigen Betrieb sowohl bei Ätz- als auch bei Abscheideprozessen ausgelegt und der Druck wird mit einem In-situ-Manometer präzise gesteuert. Der Kammerdeckel ist mit vordefinierten Luftkühl- und Heizsystemen ausgestattet, die schnelle und effiziente Temperaturanstiegs- und -abwärtsraten ermöglichen. Der HF-Generator liefert hochfrequente Energie, die für Ätzprozesse erforderlich ist; Leistungspegel, Frequenz und Abstimmung können nach Bedarf ausgewählt werden. Rainbow 4520i verfügt auch über eine ganze Reihe von Sicherheitsfunktionen, mit automatischer Temperaturregelung für präzise Ätzsteuerung, vollständig verriegelter Prozesskammer mit integraler Sicherheit und Alarmen und einem integrierten Diagnosetool für Echtzeit-Problemaufnahmen. Darüber hinaus umfasst das Asset einen Vor-Ort-Sequenz-Editor und -Monitor, mit dem Ingenieure Echtzeit-Anpassungen der Parameter vornehmen und den Prozess während der Entwicklung verfolgen können. LAM RESEARCH Rainbow 4520i ist ein vollständig integriertes Ätzmodell für die Verarbeitung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Mit seinem robusten, intuitiven Design und umfassenden Prozess- und Rezeptmanagement-Funktionen liefert Rainbow 4520i produktive, zuverlässige und kosteneffiziente Ergebnisse.
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