Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9205536 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4520i ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascheprozesswerkzeug, ideal für eine breite Palette von Wafer-Ätz-/Ascheanwendungen. Rainbow 4520i wurde speziell entwickelt, um Prozessparameter und Leistung zu optimieren. Das fortschrittliche Design des 4520i reduziert die Komplexität und eliminiert kostspielige Upgrades und bietet gleichzeitig eine überlegene Prozesssteuerung und Plasmaerzeugung. Die fortschrittliche Ätz-/Aschetechnologie von LAM RESEARCH Rainbow 4520i bietet dem Anwender ein automatisiertes, hochgeschwindiges, plasmabasiertes Verfahren zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien für Halbleiteranwendungen. Rainbow 4520i ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine optimale Waferprozesskontrolle und Effizienz bieten. Das Universal Process Module (UPM) ermöglicht den schnellen Austausch mehrerer Prozessmodule, ohne dass der Wafer aus dem System entfernt werden muss. Dies ermöglicht eine mehrfache Ätz-/Aschebearbeitung in einer Einheit. LAM RESEARCH Rainbow 4520i verfügt auch über leistungsstarke Diagnosetools und Analysesoftware, die Prozessüberwachung und -optimierung einfacher denn je machen. Der 4520i verfügt über einen Substratträger mit großer Kapazität, der sich ideal für die gleichzeitige Verarbeitung verschiedener Substrate eignet. Der Substratträger kann bis zu zweihundert 200mm Wafer (optional 300mm Wafer) und vier entsprechende Tabletts aufnehmen, die die Wafer relativ zur Prozesskammer bewegen können. Der Substratträger umfasst auch einzelne Waferheizungen, die eine unabhängige Erwärmung pro Wafer ermöglichen, was zur Verbesserung der Prozessgleichförmigkeit beitragen kann. Rainbow 4520i ist eine fortschrittliche Hochdurchsatzmaschine, die ein schnelles Ätzen und Aschen von Material für Mikroelektronik-Anwendungen ermöglicht. Das Tool verwendet fortschrittliche Plasmaprozesse, um einen Plasmastrom zu erzeugen, der für das Ätzen und Aschen von Materialien für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen optimiert ist. Die Anlage ist mit einem Weg für Prozesse ohne Träger konzipiert und verwendet Düsenanordnungen, um einheitliche Ätz- und Ascheprozesse zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4520i ist auch mit der PowerPAC-Software-Suite verfügbar, die die Prozessausbeute verbessern, die Zeit verwalten und die Prozesskonsistenz verbessern soll. Die PowerPAC Software-Suite kompiliert alle Steuerungs-, Optimierungs-, Archivierungs- und grundlegenden Modellierungsfunktionen zu einem einfach zu bedienenden Paket. Mit PowerPAC können Betreiber mehrere Ätz-/Ascheprozesse einfach überwachen, optimieren und optimieren. Abschließend ist Rainbow 4520i ein fortschrittliches Ätz-/Ascheprozesswerkzeug, ideal für eine breite Palette von Waferätz- und Ascheanwendungen. Das fortschrittliche Design des Modells reduziert die Komplexität und eliminiert kostspielige Upgrades bei gleichzeitig überlegener Prozesssteuerung und Plasmaerzeugung. Das Gerät ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die Anwendern einen automatisierten, plasmabasierten Hochdurchsatz-Prozess bieten, der mehrere Ätz-/Ascheprozesse in einem System ermöglicht.