Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE #9097262 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9097262
Wafergröße: 8"
Poly etcher, 8"
Wafer type: flat
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
Auto Pressure Controller (APC): VAT 84020-R1
Baratron 1: MKS 623 10torr
Baratron 2: MKS 622 2torr
Convectron G/Phillips 275
TMP: Vacuum TC 440-C
TMP controller: Vacuum TC 440-C
Robot: -
Robot controller: -
Generator: ENI GHW 26
Match: ENI MWM-25-02
AC rack: yes
RF controller: yes
Chiller: M and W RPC2/28W-
Process: Edwards E2M40 PFPE
Load lock: Edwards EH-250
Booster: Edwards E2M40
MFC:
Gas 1 O2 500sccm
Gas 2 N2 50sccm
Gas 3 CHF3 50sccm
Gas 4 Ar 1sccm
Gas 5 CF4 100sccm
Gas 6 He 50sccm.
LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE etcher/asher ist eine präzise Plasmaätz- und Ascheausrüstung, die hervorragende und konsistente Ergebnisse bei anspruchsvollen Umgebungsbedingungen liefert. Dieses fortschrittliche System verfügt über eine zuverlässige Vakuumplattform und ein ergonomisches Design, um den Anwendern eine genaue und effiziente Verarbeitung von Wafern zu ermöglichen. Das 4520XLE bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen wie einen Dualmodus-HF-Generator, einen erweiterten Frequenzbereich (450 kHz bis 2 GHz) und einen Zwei-Kammer-Lastschloß-Mechanismus. Dieses Gerät bietet zudem eine hohe Flexibilität, die eine Anpassung an verschiedenste Anwendungen wie Tiefätzen und Profilsteuerung ermöglicht. Der Doppelkammer-Lastverschluss sorgt für ein schnelles und präzises Einlegen von Wafern in die Bearbeitungskammer. Die Maschine ist mit einer fortschrittlichen Plasmaquelle ausgestattet, die ein gleichmäßiges Ätzprofil über den Prozessbereich bereitstellt. Das 4520XLE ist mit mehreren benutzerfreundlichen Funktionen und leistungsstarken Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet. Seine intuitive Benutzeroberfläche bietet einfachen Zugriff auf alle Verarbeitungsparameter, und das große farbige Touchscreen-Display sorgt für eine einfache Navigation und Kontrolle komplexer Prozesse. Das Tool bietet auch erweiterte Funktionen zur Ferndiagnose und Softwareanpassung, sodass Benutzer Verarbeitungsparameter jederzeit einfach überwachen und konfigurieren können. Das 4520XLE wurde entwickelt, um eine überlegene Zuverlässigkeit und robuste Leistung bei anspruchsvollen Umgebungsbedingungen wie hoher Temperatur, hoher Luftfeuchtigkeit und hohem Druck zu bieten. Seine mechanische Konstruktion beinhaltet eine Isolieranlage, um Vibrationen zu reduzieren, um präzise und konsistente Ergebnisse in einer Vielzahl von Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Modell auf die Arbeit nach verschiedenen Sicherheitsprotokollen ausgelegt und erfüllt alle relevanten Industriestandards. Abschließend ist LAM RESEARCH RAINBOW 4520 XLE eine fortschrittliche Ätz-/Ascherausrüstung, die den Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen gerecht wird. Seine innovativen und zuverlässigen Eigenschaften, kombiniert mit seiner überlegenen Prozesskontrolle und Effizienz, bieten Anwendern ein leistungsfähiges Werkzeug, um unter herausfordernden Umweltbedingungen konsistente und genaue Ergebnisse zu erzielen.
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