Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4526 #9230652 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4526 ist eine Ätz- und Aschereinrichtung für die Halbleiterwaferbearbeitung. Das Rainbow 4526-System bietet eine verbesserte Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit durch ein integriertes Gerätedesign, das eine temperaturgesteuerte Prozesskammer, eine umfassende Prozessüberwachung und -steuerung sowie einen zuverlässigen Wafertransport und -handling kombiniert. LAM RESEARCH Rainbow 4526 ist in der Lage, mehrere Ätz- und Ascheprozesse für Industriestandard Si, GaAs, InP, Poly-Si, SOI und andere Materialien durchzuführen. Es verfügt über eine exklusive „hybride“ Warmwandverarbeitungskammerkonstruktion, die reduzierte Prozesstemperaturen, einen schnelleren Durchsatz, einen niedrigeren Gesamtdruck und eine höhere Zuverlässigkeit von Wafermustern ermöglicht. Die 2,5 "Wafer-Handling-Kapazität, trägerlose Transportmaschine und die Fähigkeit, sowohl nasse als auch trockene Prozesse durchzuführen, machen das Werkzeug für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanwendungen geeignet. Rainbow 4526 verfügt über integrierte Hard- und Softwaremodule, die eine effiziente Prozessüberwachung und -steuerung ermöglichen. Das Asset verfügt über erweiterte Parameterzuordnungsfunktionen und kann mehrere Ebenen von Mustern mit hoher Präzision und Kontrolle ätzen und auswerten. Ein eingebettetes Prozesssteuermodul garantiert eine wiederholbare Prozesssteuerung, während die integrierten Rezepte eine schnelle Prozessentwicklung und -migration ermöglichen. Das Modell verfügt über umfangreiche Sicherheitsmerkmale zum Schutz von Personal und Komponenten. Es kommt mit einer integrierten, temperaturgesteuerten Sekundärkammer, um den thermischen Schock zu minimieren und die Stabilität der Prozessbedingungen zu maximieren. Um die Sicherheitsmerkmale abzuschließen, verfügt LAM RESEARCH Rainbow 4526 auch über einen vollen vorderen und hinteren Zugang mit ergonomischem Design, der einen einfachen Zugang für Wartung und Reparatur ermöglicht. Zusammenfassend ist Rainbow 4526 Ätz- und Aschermaschinen ein vielseitiges, zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterscheiben. Das integrierte Design vereint Hardware- und Softwaremodule zur Prozessüberwachung und -steuerung, ein trägerloses Wafertransportsystem, eine temperaturgesteuerte Prozesskammer und umfangreiche Sicherheitsmerkmale, die Personal und Komponenten schützen. Dies macht es zu einer umfassenden Lösung für das Ätzen und Aschen von mehreren Ebenen von Mustern mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit.