Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9011008 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4528 ist ein Ätzer/Ascher für die Serienfertigung von Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um eine vollautomatische Einzelwafer-Ätz-/Aschemaschine mit einer Plattform, die sowohl mit Niederdruck-CVD (Chemical Vapor Deposition) als auch mit Hochleistungs-Plasma Enhanced CVD (PECVD) -Prozessen bis zu 300 mm verarbeiten kann. Rainbow 4528 verfügt über eine modulare Architektur, die es dem Benutzer ermöglicht, das System an seine spezifischen Anforderungen anzupassen, und enthält ein elektrostatisches Spannfutter, das verwendet werden kann, um Wafer auf der Kammer nach unten genau zu positionieren. Der Ätz-/Ascher verfügt über zwei unabhängige Plasmaquellen und eine dynamische Drucksteuereinheit, mit der der Benutzer den Reaktorraumdruck und die Ätzrate exakt abstimmen kann. Es verfügt auch über eine Poliermaschine für die Nachätz-, Vormontagebearbeitung, einen Vakuumwärmetauscher für verbesserte Leistung und ein proprietäres chargengesteuertes, hochpräzises Förderwerkzeug, das bis zu fünf Wafer pro Prozess transportieren kann, die Zykluszeit reduziert und den Durchsatz erhöht. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH Rainbow 4528 eine Echtzeit-Überwachung kritischer Prozessparameter wie Gasfluss, Druck, Temperatur und elektrische Entladung. Seine ausgeklügelte Wafer-Mapping-Fähigkeit bietet dem Benutzer detailliertes Feedback zur Wirksamkeit des Rezepts, während seine Durch-die-Linse-Wafer-Inspektion. Rainbow 4528 ist eine effiziente Ätz-/Ascherlösung für eine breite Palette von Halbleiterprodukten.