Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9170251 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4528
ID: 9170251
Wafergröße: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4528 ist eine vollautomatische Nassätz- oder Aschemaschine. Dieses System verwendet einen hochzuverlässigen mehrstufigen Mehrfachätzprozess, um schnell und präzise geätzte Substrate zu strukturieren. Rainbow 4528 wurde entwickelt, um Substrate von bis zu 28 Zoll (71 cm) Durchmesser schnell zu ätzen. Es verfügt über eine breite Palette von Prozessparametern und ist sowohl mit Front- als auch rückseitigen Nassprozessen ätzbar. Die integrierte Prozesskammer ist auf gleichmäßiges Ätzen und gleichbleibend hohe Ausbeuten ausgelegt. Es verwendet einen verstellbaren Suszeptor und eine Flüssigkeitsabgabeeinheit, um die Gleichmäßigkeit der Prozessparameter und eine Reihe von Prozessrezepten über das gesamte Substrat zu gewährleisten. Der einstellbare Suszeptor hilft auch, die Prozesszeit zu reduzieren, indem er den Einsatz von nassen Ätzmitteln ermöglicht und die Temperaturregelung verbessert. LAM RESEARCH Rainbow 4528 ist mit einer Reihe nützlicher Funktionen ausgestattet, darunter ein getönter Aussichtspunkt und ein Warmwanddesign, die beide helfen, die Prozesssichtbarkeit zu verbessern. Der getönte Viewport ermöglicht es Benutzern, Prozessergebnisse klar zu überprüfen, während das Hot-Wall-Design hilft, den Fluss von Ätzmitteln zu beschleunigen und die Wahrscheinlichkeit von elektrolytischen Effekten zu verringern. Rainbow 4528 verfügt auch über ein abnehmbares Kühlfach und eine automatisierte Pumpe-down-Maschine, die Benutzern einen sicheren und effizienten Kühlprozess bietet. Das automatisierte Abpumpwerkzeug hilft, alle verbleibenden Ätzmittel schnell aus der Prozesskammer zu evakuieren, um Ätzverschmutzung und Ex-Gepard zu reduzieren. Eine breite Palette optionaler Monitore, einschließlich eines 8-Rack-Ladeanschlusses, sind ebenfalls verfügbar, um eine maximale Leistung und Zuverlässigkeit der Anlagen zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4528 ist ein unglaublich zuverlässiges Modell, das Prozesskontrolle und hochwertige, Hochgeschwindigkeitsergebnisse bietet. Es bietet sowohl Front- als auch Rückseite-Nassätzlösungen, die sich ideal für eine Vielzahl von Substraten eignen und somit eine gute Wahl für viele industrielle und wissenschaftliche Anwendungen darstellen. Mit seinem verstellbaren Suszeptor und der fortschrittlichen Überwachung ist diese Ätzausrüstung gut für diejenigen geeignet, die ein schnelles und hochgenaues Ätzen benötigen.
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