Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9244836 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9244836
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Etcher, 8"
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Flat orientation type
BCR
Transfer robot: Homonic driver
One process module chamber
Plasma source options: 27/2 MHz Maximum
2500 W Generator
Chuck type option: Bipolar ESC
Wafer pin-up option: Air cylinder
Gas:
(6) Gas lines
MFC Type: Analog
MFC Maker: Unit 8160
Vacuum pump: QDP80
Turbo pump: TS443BW
Signal tower
UPS: 120 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 175A
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 115A
1994 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4528 ist ein Ätzer/Ascher für die fortschrittliche Halbleiterproduktion. Es ist eine automatisierte Ausrüstung mit präzisen Temperatur-, Vakuum- und Chemikaliensteuerungsfunktionen. Das System verfügt über ein konfigurierbares mehrstufiges Prozessmodul, mit dem mehrere Prozessrezepte von der On-Board-Bedieneinheit eingestellt und abgerufen werden können. Die Kammer ist aus Edelstahl gefertigt, mit Glasfenstern, um den Maschinenzustand zu überwachen und Kontaminationen zu verhindern. Rainbow 4528 verfügt über ein Vier-Zonen-Prozessmodul, mit dem verschiedene Ätz- und Ablationsprozesse in separaten Zonen durchgeführt werden können. Das Prozessmodul verwendet drei externe Arme für zusätzliche Prozessgase und ein rotierendes Rad zum schnellen Umschalten zwischen Rezepturen und Verarbeitungskammern. Das Werkzeug ist auch mit einem patentierten Kupplungs- und Radverriegelungsmechanismus ausgestattet, der eine reibungslose und genaue Drehung auch zwischen großen Kammern ermöglicht. Mit der eingebauten Software können Prozessparameter autonom eingestellt und verschiedene Prozessrezepte gespeichert werden. Die Anlage umfasst auch ein integriertes Überwachungsmodell, mit dem der Benutzer den Zustand der Ausrüstung, den Prozessstatus und die Kammertemperatur überwachen kann. Die robuste Konstruktion von LAM RESEARCH Rainbow 4528 sorgt für zuverlässige Leistung auch unter rauen Produktionsbedingungen. Dieses System ist ideal für industrielle Durchsätze und skalierende Produktlinien. Mit einer aktiven Sub-Mikron-Kammer ist Rainbow 4528 auch in der Lage, Funktionen bis zu 0,5 Mikrometer zu verarbeiten. Die eingebaute Sicherheitseinheit und Alarme sorgen für Bedienersicherheit und Produktqualität. LAM RESEARCH Rainbow 4528 ist für moderne Produktionsumgebungen konzipiert, die in der Lage sind, komplexe Prozessrezepte zu erstellen, die auf bestimmte Produkte zugeschnitten sind. Die Maschine ist weitgehend kompatibel mit anderen LAM RESEARCH Produkten; und damit eine optimale Wahl für die Halbleiterherstellung. Die intuitive GUI ermöglicht eine einfache Einrichtung und das Tool verfügt über verschiedene Automatisierungsfunktionen für einfache, wiederholbare Prozesse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor