Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4600 #9313103 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4600 ist ein High-End-Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher mit einer modularen Plattform, bestehend aus einer Platte und vier Kammern, die eine dynamische Konfigurierbarkeit in einem einzigen Rezeptmodus oder einem Mehrfachrezept-Modus ermöglichen. Diese Flexibilität ermöglicht die Verarbeitung einer breiten Palette von Materialien, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, dicke und dünne Filme, Metalle, Glas, Dielektrika und Low-K-Materialien. Rainbow 4600 's zwei Hauptprozesse, Ätzen und Aktualisieren, werden mit einer Vielzahl von Plasmaquellen, wie HF- und DC-Bias-Plasmen, und von Systemen wie Ätzkammern, Ascher und Dampfabscheidungskammern durchgeführt. Die für LAM RESEARCH Rainbow 4600 geeigneten Kammermodelle für Ätzoperationen umfassen Einkammer-, Doppelkammer- und Vierkammerkonfigurationen. Die modulare Plattform bietet auch manuelle oder automatische Programmierbarkeit, Prozesssteuerung und Datenprotokollierungsfunktionen. Rainbow 4600 ist in der Lage, präzises Ätzen über verschiedene Materialien und Wafergrößen mit hoher Gleichmäßigkeit und hoher Selektivität und einer Wiederholbarkeit von 0,5% zu erzeugen. Dies ermöglicht eine Planarisierung von Oberflächen und ein selektives Ätzen von spezifischen Merkmalen mit optimaler Wiederholbarkeit. LAM RESEARCH Rainbow 4600 kommt mit kapazitiv gekoppelten Plasmaquellen (CCP) und kann automatisches Nivellieren, aktives Matching und einige andere erweiterte Funktionen unterstützen, die es für nanotechnologische Prozesse und andere Prozesse geeignet machen, die präzises Ätzen und optimale Ergebnisse bei hohen Durchsätzen erfordern. Rainbow 4600 verfügt auch über eine robuste und einfach zu bedienende Benutzeroberfläche, die hilft, „Ferseneffekte“ auf geätzten Oberflächen durch ungenaue Prozesskontrolle zu reduzieren. Die Platte verfügt über einen rotierenden Vakuumdeckel, aseptisches Be- und Entladen und die Fähigkeit, Nach- und Glühvorgänge durchzuführen. Darüber hinaus bietet das System auch eine integrierte Rezeptentwicklung Schnittstelle, mit der Benutzer einfach eine Vielzahl von Ätzrezepten programmieren können. LAM RESEARCH Rainbow 4600 ist auch für eine optimale Prozessumgebung konzipiert. Es kommt mit einer inerten Spülung und einem geschlossenen Kühlsystem, um eine ausgezeichnete Kühlleistung, erhöhte Wiederholbarkeit der Prozessergebnisse und verbesserte Wirtschaftlichkeit und Effizienz zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet sein robustes Wärmemanagementsystem präzise Wärme und Kühlung für maximale Temperaturkontrolle, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Alle diese Funktionen kombinieren, um Rainbow 4600 zu einer idealen und zuverlässigen Ätz-/Ascher-Lösung zu machen.