Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9145833 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4600B ist ein Ätzer/Ascher für die Herstellung von Wafern in der Halbleiterindustrie. Es bietet reduzierte Betriebskosten, erweiterten Durchsatz und Bildqualität sowie robuste Verfahren für die Prozessentwicklung und -kontrolle. Rainbow 4600B verwendet ein innovatives Doppelkammerdesign, um eine überlegene Prozesssteuerung mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4600B ist mit zwei hochmodernen elektrochemischen Bearbeitungszellen ausgestattet, die jeweils aus bis zu vier unabhängigen Elektroden und Antrieben bestehen. Das 4600B wurde entwickelt, um einen einfachen Zugang zu verschiedenen Verarbeitungsparametern wie Druck, Temperatur, Durchfluss und Konzentration zu ermöglichen. Seine benutzerfreundliche Bedienung wird durch intuitive Prozessüberwachungs- und Steuerungssoftware ermöglicht. Diese Software hilft auch dabei, Prozessvariationen, Aufwärm- und Abkühlsequenzen sowie Auswasch-/Nachladezeiten für Wafer zu minimieren, um die Effizienz zu verbessern. Es bietet auch die Möglichkeit für anpassbare Alarme, Warnungen und Rezepte für verbesserte Produktivität. Rainbow 4600B bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit von innerhalb ± 1,0% bei hervorragender Ätzgleichmäßigkeit über das gesamte Wafergesicht. Zusätzlich unterstützt die 4600B entweder Nass- oder Trockenätzen, was für bestimmte Materialien erforderlich sein kann. Das 4600B ist auch in der Lage, durchgeätzte Waferdicken einstellbar, was eine exakte Kontrolle über Nachätzfolien und Strukturen ermöglicht. LAM RESEARCH Rainbow 4600B ist mit verlängerter Lebensdauer Leistung und Zuverlässigkeit konzipiert. Das proprietäre HF-On- Metal™-Elektrodensystem wird verwendet, um einen niedrigen Partikelhintergrund zu erhalten und Kontaminationen zu reduzieren. Das 4600B verfügt über einen speziellen modularen Aufbau, um einen einfachen Zugang zu den Prozesszellen zu ermöglichen und die Notwendigkeit eines Serviceanrufs während der Wartung zu verhindern. Schließlich bietet das 4600B einen kleinen Platzbedarf mit einer Gesamtfläche von weniger als 2m2, was es zu einer idealen Wahl für begrenzten Arbeitsbereich macht.