Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293758944 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4720 ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für Ätz-, Asche- und Reinigungsanwendungen im industriellen Umfeld konzipiert ist. Das System nutzt fortschrittliche Technologien und bewährte Testprotokolle, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu liefern. Die Hauptkomponenten von Rainbow 4720 bestehen aus einer Hochleistungs-HF-Quelle, einer Ultrahochvakuumkammer und einem Standard-Toolkit. Die Hochleistungs-HF-Quelle ist in der Lage, einen weiten Frequenzbereich von 100 kHz bis 1 GHz zu erzeugen. Die HF-Quelle ist in der Lage, Frequenz und Leistung zu modulieren, so dass der Benutzer den Ätzprozess für eine Vielzahl von Substraten steuern kann. Die Kammer ist aus Edelstahl aufgebaut und achteckig geformt. Es ist mit einer verstellbaren Lastverriegelungsstufe und einem maßgeschneiderten Kammerfenster ausgestattet. Die Kammer ist so konzipiert, dass sie einen niedrigen Basisdruck (weniger als 1 mTORR) aufrechterhält, wodurch ein effizientes Ätzen gewährleistet ist. Das Toolkit umfasst einen Probenmanipulationsarm, eine programmierbare Heiz-/Kühlplatte, eine Probendreheinheit und eine Fernpumpe-nach-unten-Steuerbox. Der Probenmanipulationsarm wird verwendet, um Substrate in und aus der Kammer genau zu übertragen, während die Heiz-/Kühlplatte verwendet wird, um Temperaturgleichförmigkeit zu gewährleisten. Die Probendrehmaschine ist darauf ausgelegt, die optimale Belichtung des Substrats mit der HF-Quelle zu gewährleisten. LAM RESEARCH Rainbow 4720 verwendet auch adaptive Steuerelemente, mit denen Benutzer die Parameter des Ätzprozesses anpassen können, um konstant hohe Ätzselektivität, Funktionsdefinition und Prozessgleichförmigkeit zu erzielen. Es ist auch mit einer Reihe von Plasmadiagnosen ausgestattet, so dass Benutzer den Ätzprozess in Echtzeit überwachen können. Insgesamt ist Rainbow 4720 ein ideales Werkzeug für Ätz-, Asche- und Reinigungsanwendungen im industriellen Umfeld. Es bietet Anwendern eine breite Palette von Ätzfunktionen und einen äußerst zuverlässigen und konsistenten Ätzprozess. Darüber hinaus ist es in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu ätzen, sowie die Überwachung und Steuerung des Ätzprozesses.
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