Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293817739 zu verkaufen

LAM RESEARCH Rainbow 4720
ID: 293817739
Etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4720 ist ein Ätzer/Ascher für den Einsatz in Großserien. Dieses Gerät ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von verschiedenen Prozesschemikalien ausgelegt und kann eine maximale Ätzrate von 30,2 mm2/min erreichen. bei maximaler Pumpendrehzahl von 20000 U/min. Der Raindow 4720 ist mit einem einstufigen Hochvakuum-Turbopumpsystem ausgestattet, das es dem Gerät ermöglicht, bei einem Gesamtdruck von < 5 mTorr und einer Pumpendrehzahl von bis zu 8500 U/min zu arbeiten. Rainbow 4720 verwendet einen fortschrittlichen Ätzregler, der eine präzise Steuerung von Ätzparametern wie Gasbedarf, Ätzdruck, Kammertemperatur und Leistungsstufen ermöglicht. Die Steuerung ermöglicht es dem Bediener auch, wiederholbare Ätzläufe mit präziser Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Der Regler ist auch in der Lage, Prozessparameter wie Änderungen der Prozesskammertemperatur zu überwachen. LAM RESEARCH Rainbow 4720 Wafer Process Station beinhaltet eine Vakuum-Ladekammer, die bis zu vier Kassetten mit bis zu 20 Wafern aufnehmen kann. Die Wafer werden dann in die Ätzkammer überführt, die bis zu 216 Wafer aufnehmen kann. Rainbow 4720 Maschine verfügt über eine vollständige Palette von Wafer-Schutz-Funktionen, die die gleichbleibende Ätzqualität zu gewährleisten. Dazu gehören einstellbare Gasströme, Leistungsstufen und Temperatureinstellungen. Zusätzlich enthält das Werkzeug eine In-situ-Reinigungskammer, mit der Restverunreinigungen zwischen Prozessabläufen entfernt werden können. LAM RESEARCH Rainbow 4720 ist ein vielseitiges Asset, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Ätzprozessen mit präziser Wiederholbarkeit und Kontrolle durchzuführen. Es ist fortschrittlicher Ätzcontroller und seine hohe Durchsatzfähigkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Serienanwendungen. Dieses Modell ist zuverlässig und kostengünstig und kann qualitativ hochwertige Ätzungen mit präziser Prozesssteuerung herstellen.
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