Gebraucht LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9402505 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Rainbow 4720 ist eine hochfähige Hochdurchsatz-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die in der fortschrittlichen Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Das Aschersystem nutzt verschiedene Technologien, um hochgradig geätzte, strukturierte und mehrschichtige Strukturen zu erzeugen, die in elektronischen Geräten wie Mikroelektronik, Optik und Photonik eingesetzt werden. Insbesondere kann Rainbow 4720 chemische Naßätzprozesse, Trockenätzprozesse und physikalische Abscheidungsprozesse nutzen, um diese Ergebnisse zu erzielen. Die chemischen Nassätzverfahren LAM RESEARCH Rainbow 4720 Ätz-/Aschermittel umfassen Wet Plasma Etching (WPE), Hot Phosphoric Acid Etching (HPAE), Immersion Oxidizer (IO) und elektrolytische Oxidation. Mit diesen Verfahren werden sowohl organische als auch anorganische Materialien sowie Metalle und Legierungen geätzt, um Muster oder Löcher mit kleineren Geometrien und verbesserten Oberflächenqualitäten herzustellen, als dies bei mechanischen Prozessen möglich ist. Die Trockenätzprozesse Rainbow 4720 Einheit können die Sputter Etch (SE), Capillary Etch (CE) und Cryogenic Etch (CE) verwenden. Dies ist ein bewährtes Verfahren zur Erzeugung hochgradig geätzter und diamantartiger Kohlenstoffoberflächen und -strukturen mit hoher Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und Feinabstimmung. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH Rainbow 4720 auch in der Lage, physikalische Abscheidungsprozesse wie chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Ionenstrahl-Abscheidung (IBD) zu nutzen. Bei diesen Verfahren werden Folien wie Dielektrika, leitfähige und halbleitfähige Folien abgeschieden, um das darunterliegende Substrat zu schützen und zu versiegeln, das geätzt wird und mehr. Der Aspekt, der Rainbow 4720 Ätzer/Ascher unterscheidet, ist seine Fähigkeit, viele der oben genannten Ätz- und Abscheidungstechnologien zu verwenden, um hochkomplexe, mehrschichtige Strukturen mit extrem präzisen Mustern in sehr engen Geometrien zu erreichen und zu replizieren. Dies geschieht über die mehrstufigen Funktionen der Maschine und fortgeschrittene Bildverarbeitungswerkzeuge, Werkzeuge, die eine optimierte einstellbare Verarbeitungsleistung ermöglichen, um Ätz- und Ablageparameter an bestimmte Auftragsanforderungen anzupassen. Abschließend ist LAM RESEARCH Rainbow 4720 ein hochentwickeltes Ätz-/Ascherwerkzeug, das in der Lage ist, schnell und effizient eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und abzulegen, um hochkomplexe, mehrschichtige Strukturen mit unübertroffener Geometrie zu erzeugen. Seine ausgeklügelten Bildverarbeitungsfunktionen und mehrstufigen Verarbeitungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für die aufstrebenden Halbleiterindustrien.
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