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LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series
ID: 9176780
Chillers.
LAM RESEARCH Rainbow 4XXX Serie ist ein Ätzer/Ascher entwickelt, um die strengen Anforderungen der fortschrittlichen Geräteprozesstechnologie zu erfüllen. Diese Serie ist mit fortschrittlicher HF-Verarbeitung auf Basis der bewährten patentierten Technologie von LAM ausgestattet und bietet aufgrund ihrer hohen Ausdauer und Leistung eine äußerst zuverlässige, kostengünstige Plattform für die Produktion. Rainbow 4XXX Serie umfasst eine Reihe von Produkten mit Kompatibilität mit den neuesten Ätz- und Ascheausrüstungstechnologien in der Halbleiterherstellung. Alle Modelle verfügen über eine Zentraleinheit (CPU) mit variablem Impulsstromgenerator, Mehrkammerautomatisierung und eine Reihe von Reinigungs- und Vorverarbeitungsmerkmalen. Besonders hervorzuheben ist das Modell 4563, das ein ultradünnes Gaszellen-Wanddesign aufweist, das entwickelt wurde, um während der Verarbeitung weniger als 1,0 Millibar Gasdruck aufrechtzuerhalten und gleichzeitig < 1,5 mb Variation der Argon-Druckgeschwindigkeit zu unterstützen. Auch aufgrund seines fortschrittlichen HF-Systems können Anwender hohe Präzision mit der fortschrittlichen Prozesssteuerung erwarten, die eine genaue Prozessoptimierung gewährleistet. Die LAM RESEARCH Rainbow 4XXX Serie wurde entwickelt, um saubere, schnelle und stark dotierte Prozesse für die doppelte Produktivität herkömmlicher Geräte bereitzustellen. Diese Serie bietet Anwendern Flexibilität, da sie sowohl standardmäßige als auch kundenspezifische Rezeptur-Setups für fortgeschrittene Prozesse unterstützt. Es unterstützt auch schnelles Hochfahren, kurze Prozesszyklen, kleine Reinigungszyklen und rückverfolgbare Prozessparameter in einem einzigen Setup, das eine verbesserte Wiederholbarkeit gewährleistet. Darüber hinaus ist diese Serie mit robusten Sicherheitsfunktionen ausgelegt, die Prozessparameter überwachen und Auffälligkeiten erkennen. Darüber hinaus ist die Rainbow 4XXX-Serie erweiterbar und ermöglicht den Dualkammer-Betrieb, die erweiterte Prozessoptimierung (APO) und die Steuerung von Gas/Reaktant-Gemischen, damit Anwender ihre Produktionslinie rationalisieren und ihre Produktivität steigern können. Darüber hinaus stehen LAM-Kundensupport und dedizierte Servicetechniker zur Verfügung, um sofortigen Support und Fehlerbehebung bereitzustellen, um maximale Verfügbarkeit und zufriedenstellende Ergebnisse zu gewährleisten. Die LAM RESEARCH Rainbow 4XXX Serie ist ein leistungsstarkes Werkzeug für Hersteller, die zuverlässige und schnelle Prozesse, Möglichkeiten zur Prozessoptimierung und erweiterte Sicherheitsfunktionen in einem einzigen, kompakten System benötigen. Diese Serie bietet Anwendern die Möglichkeit, Stapelläufe anzupassen, aktiven und zuverlässigen Support sowie eine erhöhte Flexibilität, um sicherzustellen, dass ihre Verarbeitungsanforderungen erfüllt werden.
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