Gebraucht LAM RESEARCH RB 4528 #9115317 zu verkaufen

LAM RESEARCH RB 4528 ist eine Trockenätz-/Aschermaschine, die zum Ätzen und Reinigen einer Vielzahl von Substraten mit extrem hoher Präzision verwendet wird. Das System ist sowohl mit nachgeschalteten Plasmabearbeitungs- als auch mit Trockenätzfunktionen mit einem hervorragenden Hintergrund in der Massenproduktion ausgestattet. Es wurde entwickelt, um hohe Seitenverhältnisse durch eine patentierte Gas-Reflow-Technologie zu liefern, die eine hohe Selektivität für Niedertemperaturoxide bietet. RB 4528 besteht aus einer robusten Kammeranordnung mit fortschrittlicher Prallplattenkonstruktion zur Optimierung der Plasmabelastung. Es ist mit einer automatischen Kammerprofil-Messeinheit mit niedriger Induktivität ausgebildet und ermöglicht somit konsistente wiederholbare Ätzprozesse. Die Maschine verfügt über eine schnelle Anlaufzeit mit geringer Resonanz, um Lichtbogen zu vermeiden und schnelle Rampenzeiten zu unterstützen, um die Verzugszeit aufgrund von Hochtemperaturprofilen zu reduzieren. Der Ätzer/Ascher ist mit einer innovativen Doppelkammer ausgestattet, die konventionelle Ätzprozesse vereinfacht. Das Kammerdesign verfügt außerdem über ein HF-Netzteil mit energiesparender IGBT-Technologie und einer hochgenauen Endpunkterkennung, um stabile, wiederholbare Ätzprozesse zu gewährleisten. Das Ätz-/Ascherwerkzeug verfügt über ein hocheffizientes Wärmemanagement für Trockenätzprozesse und die Möglichkeit, Wafer mit mehreren Stationen zu entgasen. Die integrierten Prozessmonitore verfügen über eine schnelle Reaktionszeit, um genaue Ergebnisse zu erzielen und über ein fortschrittliches Sicherheitsmodell, das es dem Benutzer ermöglicht, den Prozess fernzuüberwachen. LAM RESEARCH RB 4528 Ätzer-/Aschermaschinen sind mit optionalen Roboter-Handhabungsfunktionen ausgestattet, die die Ladezeit verkürzen und stattdessen für kontinuierliche Prozesse automatisiert werden. Darüber hinaus verfügt es über eine breite Palette von Gas und Verbrauchsmaterialien, die eine breite Palette von Anwendungen unterstützen. Das RB 4528 Ätz-/Aschersystem hat die Branche mit seinem robusten Design, zuverlässiger Leistung und hochpräzisen Funktionen revolutioniert. Das Gerät ist in Sachen Ätzgenauigkeit einzigartig und somit zu einem Industriestandard für Klein- und Massenproduktion geworden.