Gebraucht LAM RESEARCH SEZ 223 #293658185 zu verkaufen

LAM RESEARCH SEZ 223 ist ein vielseitiger, innovativer Waferätzer oder „Asher“ zum Ätzen von Wafern und anderen Substraten in Halbleiteranwendungen. Es verfügt über einen modularen Aufbau, der die Installation zusätzlicher Module ermöglicht, um eine höhere Leistung oder einen höheren Durchsatz zu erzielen. Die neueste Version enthält Upgrades, die Substratverarbeitungsraten von bis zu 50 Wafern pro Stunde ermöglichen. Außerdem reduzieren seine schnellen Zykluszeiten die Zeit, die benötigt wird, um jeden Zyklus abzuschließen. SEZ 223 verfügt über eine Dual Pass Color Touch Screen Interface (DPCIT) für einfache Überwachung und Steuerung. Das DPCIT enthält intuitive Bedienelemente, eine Protokollfunktion und die Möglichkeit, mehrere Rezepte in einer einzigen Operation festzulegen. Die lasergetriebene Einspritzvorrichtung ermöglicht eine schnellere Substratisierung von Wafern auf das System mit höherem Durchsatz und gleichmäßiger Ätzleistung. LAM RESEARCH SEZ 223 bietet überlegene Kontrolle und Selektivität mit präziser Kontrolle über den gesamten Ätzprozess. Seine verstellbare Platte hat zwei separat verstellbare Ziel- und Trägerplatten mit unterschiedlichen Ätzmustern und Ätzraten, so dass mehrere Ätztiefen mit unterschiedlichen Ätzraten erreicht werden können. Die Einheit kann programmiert werden, um Wiederätzoperationen durchzuführen, bei denen ein Teil eines Wafers erneut geätzt werden kann, um ein genaueres Ätzmuster zu erzeugen. SEZ 223 nutzt fortschrittliche Sicherheitsfunktionen und ist mit einem Kapton Heater ausgestattet, der den Wafer vor Überätzen schützt sowie Verbrennungen oder Beschädigungen verhindert. Die patentierte Reinigungsmaschine minimiert die Phosphorsäure-Dampfemission und reduziert das Risiko von Luftemissionen. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine Reihe von Prozessalarmen und einen End-of-Cycle Sauerstoffkonzentrationsmonitor, um Sicherheit und Genauigkeit zu gewährleisten. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH SEZ 223 eine zuverlässige Hochgeschwindigkeitsätzanlage, die für präzises Ätzen, Sicherheit und Durchsatz entwickelt wurde. Seine intuitiven Bedienelemente und erweiterten Funktionen machen es zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Wafer-Ätzanwendungen.