Gebraucht LAM RESEARCH SEZ 323 #293658166 zu verkaufen

LAM RESEARCH SEZ 323
ID: 293658166
Wafergröße: 12"
Spin etcher, 12".
LAM RESEARCH SEZ 323 ist eine hochpräzise Ätz-/Ascheprozessanlage, die den hohen Anforderungen an kritische Photomasken-Ätz- und Ascheanwendungen gerecht wird. Das System ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einem vierspurigen Radverfolgungsroboter, einer pneumatischen Düse und einem mehrachsigen Ätz-/Aschekopf ausgestattet. Das Gerät eignet sich ideal zum Ätzen/Aschen von empfindlichen Photomasken mit einer minimalen Filmdicke von 0,5 Mikrometern. Die Maschine ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Ätz-/Ascheprozess vor chemischen oder mechanischen Unfällen geschützt ist. Die eingebauten Sicherheitseinrichtungen umfassen ein Gaserfassungswerkzeug, ein Vakuumprozesssicherheitsventil und einen Deckelsicherheitsschalter. Darüber hinaus umfasst das Steuermodell des Objekts eine eingebaute Aussperr-/Ausklemmausrüstung und eine Not-Aus-Taste. Das System verfügt über einen hohen Durchsatz von bis zu 30 Photomasken pro Stunde. Der mehrachsige Ätz-/Aschekopf ist in der Lage, vier Photomasken gleichzeitig zu verarbeiten und bietet eine effiziente und kostengünstige Produktionslösung. Der fortschrittliche Roboter verfügt über eine vierspurige Radverfolgungseinheit, die einen gleichmäßig verteilten Ätz-/Ascheprozess ermöglicht. Darüber hinaus verwendet die Maschine eine pneumatische Düse, um das Risiko kostspieliger Schäden durch manuelle Kontaktierung zu verringern. Das Tool ist so konzipiert, dass es einfach in alle vorhandenen Produktionsabläufe integriert werden kann und ist mit benutzerfreundlicher Software für einfache Bedienung und Diagnose ausgestattet. Die Software bietet eine Reihe von Anpassungsoptionen, mit denen Benutzer ihr Setup auf ihre spezifischen Anforderungen abstimmen können. Darüber hinaus umfasst die Anlage eine breite Palette von Zubehör für Ätz-/Ascheprozesse wie Filter, Düsen und Reflektoren. SEZ 323 ist ein sehr zuverlässiges und fortschrittliches Ätz-/Aschemodell, das überlegene Leistung und unübertroffene Qualität bietet. Das Gerät ist eine ideale Wahl für Photomasken-Ätz-/Ascheanwendungen, die Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. Mit seinen vielfältigen Sicherheitsfunktionen und erweiterten Funktionalitäten bietet das System eine effektive Lösung für hochpräzise Anwendungen.
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