Gebraucht LAM RESEARCH STRIP45 #9244860 zu verkaufen

LAM RESEARCH STRIP45
ID: 9244860
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Systems, 12" 2011 vintage.
LAM RESEARCH STRIP45 ist ein hochleistungsfähiges, modulares Ätzwerkzeug für kritische Ätz- und Reinigungsprozesse, einschließlich ultraseichter Verbindungsbildung, Korrosionsprävention und dielektrischer Entfernung. Es eignet sich besonders gut für Kupfer-Via und Damascen-Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es zu einer leistungsstarken, aber vielseitigen Ätzausrüstung machen, darunter ein modernes HF-Stromversorgungssystem, eine übergroße Quarzkammer, eine einteilige Prozessbelastung, eine mehrstufige Toposteuerung und mehrere unabhängige Prozessmodule. Diese Funktionen kombinieren, um die Benutzererfahrung einfacher und effizienter zu machen, wenn die qualitativ hochwertigsten geätzten Ergebnisse erzielt werden. STRIP45 Etch-Einheit ist mit einer breiten Palette von Funktionen und Zubehör für optimale Leistung ausgestattet. Es verwendet eine proprietäre HF-Power-Maschine, die Energie gleichmäßiger auf einer größeren Fläche verteilt und eine erhöhte Ätzgleichförmigkeit ermöglicht. Es enthält auch eine überdimensionale Quarzkammer, die den Wärmeübergang zwischen dem Substrat und der Last minimiert und die Partikelverschmutzung reduziert. Zum einfachen Laden verwendet das Werkzeug eine einteilige Prozess-Ladefunktion und kann bis zu 2.000 Wafer handhaben. Eine mehrstufige Topo-Steuerung ermöglicht das präzise Ätzen und Bewegen des Wafers innerhalb des Werkzeugs unter Beibehaltung von Gleichmäßigkeit und Senkung der Fehlerwerte. Darüber hinaus stehen mehrere unabhängige Verarbeitungsmodule für unterschiedliche Ätz- und Reinigungsanwendungen zur Verfügung. Um maximale Präzision und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist LAM RESEARCH STRIP45 etch asset mit einer Vielzahl fortschrittlicher Steuerungs- und Überwachungssysteme ausgestattet. Dazu gehören ein E-Kammer-Druckmonitor, ein dynamischer Modellscanner und eine automatisierte Wafer-Orientierungsprüfung. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, ihren Ätzprozess genau zu überwachen und anzupassen, indem sie Variablen wie Temperatur, Zeit, Ätzchemie und Leistung einstellen, um sicherzustellen, dass die bestmöglichen Ergebnisse erzielt werden. Darüber hinaus integriert sich das Equipment in LAM RESEARCH ETCHVISION™ Controller und Software. Dies bietet Anwendern eine Echtzeit-Überwachung ihres Ätzprozesses und bietet leistungsstarke Datenanalyse- und Berichtsfunktionen. Insgesamt ist STRIP45 ein fortschrittliches Ätzsystem, das mit minimalem Aufwand und geringem Aufwand hervorragende Ergebnisse erzielen kann. Durch die Nutzung seiner hohen HF-Leistung und -Steuerung bietet dieses Gerät Benutzern die Sicherheit, dass ihre Ergebnisse zuverlässig und wiederholbar sind. Durch die Verwendung fortschrittlicher Kontrolltechniken und Berichtsfunktionen können die Betreiber ihren Ätzprozess optimieren, um den Ertrag zu maximieren und den Zyklus zu reduzieren.
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