Gebraucht LAM RESEARCH STRIP45 #9284283 zu verkaufen

LAM RESEARCH STRIP45
ID: 9284283
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Systems, 12" 2010 vintage.
LAM RESEARCH STRIP45 ist ein schneller und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in verschiedenen Halbleiterprozessen entwickelt wurde. Es ist ein einziges Plattformsystem mit fortschrittlicher, modularer Technologie, die eine äußerst präzise Verarbeitung empfindlicher Gerätestrukturen ermöglicht. STRIP45 verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die ein breites Anwendungsspektrum wie z.B. Materialätzen, Oberflächenreinigung, SiO2 Seitenwandätzen und über Metallätzverfahren ermöglichen. LAM RESEARCH STRIP45 ist mit modernster Hardware für hohe Produktivität und Flexibilität ausgestattet. Es verfügt über eine 4-Zoll-i-line/DUV, eine DUV-Kochplatte, eine 200mm a-line/DUV und eine Uni-programmierbare 50-Kammer. Jede Kammer kann mit verschiedenen Gasströmungen, Druck, Temperatur und Durchflussmengenkonfigurationen besonders angefertigt werden. Zusätzlich, eine niedrige Temperatur, niedriges Vakuum, ist Halbleiterätzenfähigkeit verfügbar. STRIP45 kommt auch mit Software, die anpassbare Prozessrezepte, Datenprotokollierung und Alarmüberwachungskomponenten bietet. So können Anwender schrittweise Sequenzen für bestimmte Ätz- oder Ascheprozesse entwickeln. Jeder Schritt kann Gasfluss, Druck, Temperatur und Durchflussrate Spezifikationen für die genaue Verarbeitung enthalten. Die rezeptbasierte Prozessentwicklung macht es auch einfach, Test-, Optimierungs- und Produktionsläufe durchzuführen. LAM RESEARCH STRIP45 bietet mit seiner Schallleistung von 8500 Watt und einer leistungsstarken Niedertemperatur-Plasmaquelle eine außergewöhnliche Reinigungsleistung. Es kann leichte organische Verbindungen entfernen, unter Beibehaltung eines stabilen Drucks von 0,39 Torr und einer Temperatur von 10 bis 140 ° C in der Kammer. STRIP45 verfügt auch über hervorragende Sicherheitsmerkmale, um Personal und Material vor versehentlicher Exposition gegenüber schädlichen Gasen zu schützen, und es wurde entwickelt, um mit minimalem Lärm in Reinraumumgebungen zu arbeiten. Dieser einfach zu bedienende, wartungsarme Ätzer/Ascher ist ideal für viele Halbleiteranwendungen und bietet Kosteneinsparungen mit schneller Zykluszeit und verbesserter Werkzeugeffizienz.
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