Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE #293618056 zu verkaufen

Das LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE ist eine Ätz-/Aschermaschine, die speziell für die Produktion von Präzisionssubstraten in hoher Stückzahl entwickelt wurde. Das System verfügt über eine zweikaskadierte, dreistufige (TC3) Abscheideeinheit, die eine schnelle und präzise Substratvorbereitung ermöglicht. Die TC3 Maschine sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung verschiedener Materialien, wie Nitrid, Siliziumdioxid, Titannitrid und Aluminiumnitrid. Das Werkzeug ist mit einer 19 „breiten bis 27“ tiefen Hauptkammer ausgestattet, in der alle Abscheidevorgänge im Innenbereich durchgeführt werden. Der Kühlschrank, der die Ätzrate und Gleichmäßigkeit der Schicht steuert, ist im Asset enthalten und kann bis zu 12 Kassettenpositionen halten. Die Kassettenpositionen können über einen Trommelwähler, der für eine bestimmte Ätzrate einstellbar ist, durch Steuerung des Durchflusses und Volumens der dabei eingesetzten Gase sowie der Prozessdauer gewählt werden. Die Positionen sind achteckig angeordnet, um die Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu maximieren. Das Modell ist auch mit einer integrierten, computergesteuerten End-of-Run-Reinigungsanlage ausgestattet, die Flusssäure und Ozon verwendet, wodurch die Substrate sauber und unkontaminiert herauskommen. Das System ist sehr vielseitig und kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien wie Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Aluminium und Titannitrid, Siliciumoxynitrid, Wolfram und Tantalnitrid und andere feuerfeste Materialien abzuscheiden. Der LAM TCP 9400 DSIE kann mit automatischen Zuführungen konfiguriert werden, die eine präzise Kontrolle der Dicke, Ätzrate und Gleichmäßigkeit bieten. Die Einheit umfasst auch einen Partikelmonitor, der die Abscheiderate des Materials überwacht, und eine Ablenkvorrichtung, die die mechanische Genauigkeit des Substrats beibehält. Die benutzerfreundliche menügesteuerte Software ist ebenfalls im Lieferumfang enthalten und bietet eine einfache Einrichtung, Bedienung und Wartung der Maschine. Das Werkzeug ist extrem effizient und wirtschaftlich in der Massenfertigung und ist in der Lage, Substrate zu produzieren, die in vielen verschiedenen Technologien eingesetzt werden können, wie Optoelektronik, Mikroelektronik, Biomedizin und Automobil. Mit seinem Leistungsspektrum ist der LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE eine ideale Lösung für diejenigen, die qualitativ hochwertige Ätz- und Aschermaschinen in Serie benötigen.