Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9212901 zu verkaufen

ID: 9212901
Wafergröße: 8"
Etcher, 8" Temperature: 22 +/ -2°C Humidity: <50 % Vibration sensitivity: Slight Carrier by water: 9400 Carrier by exhaust: 8400 RF Generator: 5000 Dispersed to environment: 20.000 RF Generator: 3000 Total output: 38.000 RF Generator: 8000 (5) Conditions Type: Wye Receptacle required: Hardwired Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 80/63 A.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II ist ein Benchtop-Plasmaätzer, der speziell für eine breite Palette von Silizium- und Verbundhalbleiteranwendungen entwickelt wurde. Dieses Gerät bietet eine vielseitige, leistungsstarke Ätzlösung für die Herstellung mikroelektronischer Geräte wie Mikrosensoren, MEMS und optoelektronische Komponenten. Es verfügt über eine große 17-Zoll-Farbe LCD-Touchscreen-Schnittstelle, so dass der Benutzer einfach alle Funktionen mit ein paar Streichen und Tippen steuern. Das System verfügt zudem über ein sehr breites Ätzfenster (bis 12x12 Zoll) und ermöglicht die Bearbeitung mehrerer Wafer- und Düsenebenen in einem Lauf. TCP 9400 SE II kommt mit einer eingebauten Stromversorgung und Kochplatte, so dass eine ausgezeichnete Ätzgleichförmigkeit bei gleichzeitiger Verringerung der Partikelerzeugung. Darüber hinaus verfügt es über eine integrierte Inert-Cluster-Software, die in der Lage ist, das Ätzzeit- und Temperaturverhältnis für eine breite Palette von Ätzchemie, einschließlich CF4, SF6, HCl, Cl2 und HBr, genau zu steuern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über zwei unabhängige Lastschlösser, so dass Hochdurchsatzsysteme implementiert werden können. Darüber hinaus unterstützt die Maschine entweder einstufige oder mehrstufige Ätzprozesse, die einen genaueren Herstellungsprozess der Vorrichtung ermöglichen. Die Sicherheitsmerkmale von LAM RESEARCH TCP 9400 SE II wurden entwickelt, um eine sichere Betriebsumgebung zu gewährleisten, einschließlich Belichtungsschutz, Schutzventile für Inertgas und Abgaswäscher. Das Werkzeug hat auch Nothaltestellen und eingeschaltete Ein-/Ausschalter, um die Sicherheit zu erhalten. In Bezug auf die Wartung benötigt TCP 9400 SE II sehr wenig, da die Anlage mit einem eingebauten Selbstdiagnosemodell ausgestattet ist, das regelmäßig die Sicherheit und Leistung des Geräts überprüft. Alle diese Funktionen tragen zum Ruf des LAM RESEARCH TCP 9400 SE II als hochpräzises Ätzsystem bei, das zuverlässig und kostengünstig ist. Die Kombination aus robustem Gerätedesign und den integrierten Software- und Hardwarefunktionen macht TCP 9400 SE II zu einer idealen Plattform, um eine Vielzahl von Materialien sicher und präzise zu ätzen.
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