Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9364646 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II Ätzer/Ascher ist ein vielseitiges Nassbearbeitungswerkzeug für schnelles, präzises Plasma-basiertes Ätzen, Aschen und verwandte Prozesse in der Halbleiterherstellung. Es verwendet ein modernes lineares automatisiertes Bewegungssystem für maximalen Durchsatz und Genauigkeit. Der 9400 SE II bietet eine leistungsstarke, kostengünstige Lösung für plasmabasiertes Ätzen und Aschen. Der 9400 SE II eignet sich für die Front-End und Back-End Fertigung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine 8 "-Mehrzonensubstrat-Trägerstufe, ein elektrostatisches Spannfutter mit 4 Positionen und einen Sputterfilm-Abscheidungskopf für die Oberflächenmontage, um eine konsistente Plasmaantwort und ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Prozessoberfläche zu gewährleisten. Der 9400 SE II ist in der Lage, bis zu 50 um Metall mit Submikron-Genauigkeit innerhalb einer 200 mm-Wafergröße zu ätzen. Die Stufe ist für eine Vielzahl von Prozessrezepten vorkonfiguriert, einschließlich Gas/Durchfluss-Steuerung, Mehrzonensubstrat-Temperaturregelung, Mustererkennungs-/Erkennungsalgorithmus und virtuelle Wafer-Abbildung. Darüber hinaus verfügt der 9400 SE II über fortschrittliche digitale automatische Fokus- und Auto-Scan-Steuerungssoftware für effizientere und genauere Ätzprozesse. Der 9400 SE II verwendet ein hocheffizientes Gasfördersystem, das kühles, trockenes Gas über die Prozessoberfläche verteilt, um die Ätzgenauigkeit, Plattengleichmäßigkeit und Gerätelebensdauer zu maximieren. Es bietet einen präzisen und schnellen Ätzprozess mit einem minimalen Sputterverlust. Es ist auch in der Lage, emissionsarmes (LE) Plasma zu liefern, um eine optimale Ätzleistung zu gewährleisten und die Restmaterialverschmutzung zu minimieren. LAM RESEARCH 9400 SE II ist ein zuverlässiger und robuster Ätzer/Ascher, der eine sichere und zuverlässige Umgebung für Ätz- und Ascheanwendungen bietet. Der modulare Aufbau und die Fernüberwachung machen es zu einer idealen Lösung für jede Anwendung. Der 9400 SE II ist mit seinem hohen Verarbeitungsdurchsatz, kostengünstigen Betriebsabläufen und einer überlegenen Ätz-/Ascheleistung die Wahl für viele führende Halbleiterhersteller.