Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9402509 zu verkaufen
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LAM RESEARCH TCP 9400 SE II Ätzausrüstung (auch als Ascher bekannt) ist ein hochleistungsfähiges, hochpräzises Ätzsystem, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Mit patentierten Technologien verwendet TCP 9400 SE II fortschrittliche Materialien und Verfahren, um Produkte mit überlegener Gleichmäßigkeit, Ausbeute, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit herzustellen. Das Gerät verfügt über ein Cluster-Tool-Design, um den Durchsatz zu maximieren, die Betriebskosten zu reduzieren und die Integration mehrerer Prozessmodule in eine einzige Plattform zu ermöglichen. Diese Module bestehen aus einer Vorätzstrippeinheit, einer thermischen Bearbeitungskammer zur thermischen Oxidation, einer Photo Organic Vapor Deposition (POVD) -Kammer zur hochwertigen organischen Filmabscheidung, einer Plasmaätzstation mit Katalysatorabscheidung und einer High-End-Robocameramaschine zur Inspektion von Substraten vor dem ätzen. Die integrierte Architektur und die benutzerfreundliche Bedienung des Tools ermöglichen es Anwendern, schnell zur Produktion zu gelangen. Das Werkzeug wurde speziell entwickelt, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse mit minimalen Defekten und optimaler Gleichmäßigkeit zu erzielen. Die patentierten SmartEtchTM Softwarelösungen ermöglichen ein genaues Ätzen aller Arten von Materialien, einschließlich Dick- und Dünnschichtmaterialien, mit maximaler Ausbeute und Reproduzierbarkeit. Die thermische Verarbeitungskammer von LAM RESEARCH TCP 9400 SE II eignet sich besonders zum Ätzen kleiner Chips, empfindlicher optischer Beschichtungen und Metalle oder transparenter Dielektrika. Durch die Verwendung der Photo Organic Vapor Deposition (POVD) -Kammer wird eine hochwertige organische Filmabscheidung erreicht, die auch großflächig eine maximale Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die innovative Plasmaätzstation des Werkzeugs ermöglicht ein optimiertes Ätzen und Katalysatorabscheiden sowohl für fertig bearbeitete Wafer als auch für Prozessflussexperimente. Darüber hinaus können kundenspezifische Kammern integriert werden. TCP 9400 SE II verfügt auch über ein High-End-Robocamera-Asset, das eine überlegene Inspektionsfähigkeit zur Identifizierung und Korrektur von Substratfehlern vor dem Ätzen bietet. Insgesamt ist das LAM RESEARCH TCP 9400 SE II Ätzmodell ideal für Benutzer, die nach einer fortschrittlichen Ätzausrüstung suchen, die maximale Ausbeute, Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit bietet. Mit seinen fortschrittlichen Materialien, der Prozesstechnologie und der integrierten Architektur ist dieses Tool in der Lage, überlegene Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig Ausfallzeiten zu minimieren und die Rentabilität zu erhöhen.
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