Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293764327 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist ein Ätzer/Ascher, der speziell entwickelt wurde, um Trockenätz- oder Nassätzprozesse in der Elektronik- und Halbleiterindustrie durchzuführen. Es wurde entwickelt, um ausgezeichnete Geometrie und präzise Tiefenkontrolle bereitzustellen, die eine exakte Ätzmustersteuerung ermöglicht. ONTRAK TCP 9400 SE ist eine Vierkammer-Ätz-/Ascheausrüstung, die ein zweistufiges Trockenätzverfahren verwendet, um Muster mit höherer Genauigkeit und geringeren Kosten zu ätzen. Die erste Stufe ist eine Niederdruckspeicherätzung, während die zweite Stufe Plasmagas und Mikrowellen verwendet, um in das Substrat einzuätzen und ein feines, hohes Seitenverhältnis zu erzeugen. Dieses Ätzsystem ist in der Lage, in verschiedenen Substratmaterialien wie Dielektrika und Metalle zu ätzen, was es zu einem vielseitigen Ätzwerkzeug macht. LAM RESEARCH TCP 9400 SE ist mit fortschrittlicher Feinmaß-Messtechnik, Mehrzonenfähigkeit und mehreren Prozessrezepten in der Kammer ausgestattet. Die messtechnische Einheit bietet eine hochgenaue und zuverlässige Methode zur Messung von Ätztiefen und Überlagerungsgenauigkeit. Die Multizonenfähigkeit ermöglicht einen erhöhten Durchsatz für Anwendungen mit hohem Volumen und die Möglichkeit, Rezepte in der Kammer zu programmieren, ermöglicht benutzerdefinierte Ätzrezepte. Die Ätzmaschine wird von einem integrierten Prozessschrank verwaltet und gesteuert, mit dem Anwender ihre Prozessrezepte einfach einrichten, überwachen und anpassen können. Es ist auch kompatibel mit Spitzensoftware wie ONTRAK TSCX-Software, die es einfach macht, Daten zu verarbeiten, die Werkzeugleistung in Echtzeit zu überwachen und Ergebnisse zu exportieren. Darüber hinaus kann es einfach mit einer Reihe von Messtechnik-Systemen von Drittanbietern verbunden werden. TCP 9400 SE ist die ideale Ätzlösung für kleine bis große Produktionsläufe und wurde für eine minimale Wartung konzipiert - seine austauschbaren Komponenten, schnelle Hochlaufzeiten und relativ geringe Platzverhältnisse machen es ideal für Reinraumumgebungen. Es ist voll kompatibel mit den OPC-200 Reinraumgas- und Wafer-Handling-Systemen und gewährleistet Konsistenz in Bezug auf Umweltbedingungen und Prozesssicherheit. Insgesamt ist LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ein fortschrittliches Etch/Asche-Asset, ideal für eine Reihe von Elektronik- und Halbleiterherstellungsanwendungen. Mit seinem zweistufigen Trockenätzverfahren und der integrierten Feinabstandsmesstechnik ist dieses Modell in der Lage, präzise Ätzungen mit minimalen Stillstandszeiten zu erzielen, was es zu einer optimalen Lösung für Mittel- bis Großserien macht.