Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293767403 zu verkaufen

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die für den Einsatz in der Herstellungsumgebung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es verfügt über eine vollautomatische, in sich geschlossene Plattform, die eine breite Palette von Substratmaterialien wie Silizium, Nitrid und verschiedene Metalle verarbeiten kann. Das System kann angepasst werden, um andere Materialien nach Bedarf zu verarbeiten. Die Ätz-/Aschereinheit ist mit einem drehbaren Substrathalter ausgestattet, der die Möglichkeit bietet, Substrate bis zu einer Größe von 6,5 Zoll zu verarbeiten. Dies ermöglicht die effiziente Handhabung und Ätzung von Substraten unter Beibehaltung genauer und wiederholbarer Ergebnisse. Darüber hinaus bietet der drehbare Substrathalter die Flexibilität, verschiedene Ätzformen und -größen sowie erweiterte Ätzparameter aufzunehmen. Um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten, umfasst ONTRAK TCP 9400 SE fortschrittliche Prozesskontrolltechnologien. Dazu gehören Prozessparameterüberwachung und automatische Prozessoptimierung, die sicherstellen, dass qualitativ hochwertigste Ätzungen hergestellt werden. Es verfügt auch über eine Funkenerkennungsmaschine, um Geräteschäden vorzubeugen, sowie eine Videoanzeige und -steuerung an Bord. Dieser Ätzer/Ascher bietet zudem maximale Prozessflexibilität und bietet sowohl manuelle als auch automatische Ätzraten sowie programmierbare Ätzfolgen. Zusätzlich können Prozessgasstrom und Temperatur an die Anforderungen einzelner Ätzaufträge angepasst werden. Das Prozessgas wird mit einem Mehrkopf-Gasförderwerkzeug gesteuert, das mehrere Teilbänke umfasst. Dies ermöglicht die präzise Steuerung der Geschwindigkeit, Zusammensetzung und Verteilung aller Prozessgase. LAM RESEARCH TCP 9400 SE Ätzer/Ascher enthält auch einen integrierten Hubtisch. Dies ermöglicht eine einfache Be-/Entladung sowohl für Substrate als auch für kontaminiertes Abfallmaterial. Darüber hinaus verfügt eine integrierte Sicherheitsplattform über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, um die Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. Dies beinhaltet ein automatisches Abschaltelement, das den Ätzer/Ascher im Falle einer Modellstörung oder eines Stromausfalls abschaltet. Insgesamt ist TCP 9400 SE ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Substrate höchster Qualität mit wiederholbaren und kostengünstigen Ergebnissen zu versorgen. Seine fortschrittlichen Prozesssteuerungstechnologien, flexiblen Prozessparameter und umfassenden Sicherheitsmerkmale machen es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterbauelement-Fertigungsindustrie.