Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813740 zu verkaufen
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LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE ist ein Ätzer, auch bekannt als Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. ONTRAK TCP 9400 SE, das für „Thin Ability Platform for Semiconductor Etching“ steht, ist für den Einsatz in der kommerziellen Ätzproduktion und -forschung konzipiert. Es ist eine hohe Durchsatzleistung, vollautomatische Ausrüstung mit vier unabhängigen Ätzern und 11 unabhängigen Prozesskammern. Das System ist in der Lage, bis zu vier Wafer gleichzeitig zu ätzen und zu strippen und kann Hunderte von Experimenten gleichzeitig durchführen. Im Kern der Einheit befindet sich ein hocheffizienter Dünnschichtätzer, der sowohl Silizium als auch dielektrische Materialien mit einer maximalen Rate von 3,2 Å pro Sekunde ätzen kann. Die Fähigkeit der Maschine, mehrere Schichten gleichzeitig zu verarbeiten, kann die gesamte Ätzzeit erheblich reduzieren. Dies macht LAM RESEARCH TCP 9400 SE ideal für Anwendungen, bei denen Prozesse eng begrenzt oder leistungskritisch sind. Die Maschine kann auch Prozesse wie Photolackstreifen, Ätzstopp, Resiststrippen und Arsendotierung durchführen. Seine Etch Eject Assembly (EEA) soll sicherstellen, dass die Waferoberfläche nach dem Ätzvorgang frei von Verschmutzung bleibt. Außerdem trägt der EWR dazu bei, die Kontaminationsmöglichkeiten zu minimieren und die Ätztiefenvariationen zu reduzieren. TCP 9400 SE ist mit einem hochzuverlässigen 600mm x 400mm Quarzrohr ausgestattet, das in der Lage ist, einen hohen Durchsatz zu erhalten und eine gleichbleibende Waferqualität zu gewährleisten. Seine 13 MFC-Prozessleitungen bieten eine präzise Kontrolle über Druck, Temperatur und Gasfluss. Der Gasstrom kann von 0-50slpm variiert werden, was dazu beiträgt, den chemischen Verbrauch zu reduzieren und den Prozess besser zu verwalten. Der Ätzer verfügt zudem über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche, die einen effizienten, automatisierten Datenfluss ermöglicht. Es kommt auch mit einer Reihe von erweiterten Diagnosefunktionen, wie Prozessüberwachung und Lecksuche, die überlegene Prozesskontrolle bieten. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE so konzipiert, dass es den Sicherheitsstandards der Industrie entspricht und ein hohes Maß an Schutz für Personal und Ausrüstung bietet. Es wird auch von einem Team von erfahrenen Ingenieuren unterstützt, die bei Bedarf Unterstützung und Fehlerbehebung bereitstellen können. Insgesamt ist ONTRAK TCP 9400 SE ein hocheffizienter und zuverlässiger Dünnschichtätzer, der es zu einer idealen Wahl für das kommerzielle Ätzen macht. Seine Präzisionstechnik und seine intuitive Benutzeroberfläche ermöglichen eine effiziente Produktion mit hohem Durchsatz, während seine Langlebigkeit und seine erweiterten Diagnosefunktionen sicherstellen, dass es konsistente Waferqualität liefert.
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