Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293592159 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400
ID: 293592159
ICP Etchers.
LAM RESEARCH TCP 9400 ist eine innovative Ätz- und Aschermaschine, die Reinigungs- und Abscheidefunktionen in einem einzigen Werkzeug bereitstellt. Dieses System wurde entwickelt, um eine hochgenaue Verarbeitung verschiedener Substrate zu ermöglichen, einschließlich Siliziumscheiben, Glas, Quarz und andere. TCP 9400 ist mit einem Scanhead ausgerüstet, der eine präzise Platzierung der verschiedenen Verarbeitungschemikalien und Materialien auf dem Substrat ermöglicht und so die höchste Qualität der Ätz- und Abscheidungsoperationen gewährleistet. Dieser Scanhead zeichnet sich sowohl durch eine lineare als auch radiale Bewegung aus, wodurch der Ätz- und Abscheideprozess mit großer Genauigkeit und Geschwindigkeit abgeschlossen werden kann. LAM RESEARCH TCP 9400 verfügt über eine integrierte Kontrollstation, auf die von der Computerarbeitsstation oder von der Gerätekonsole aus zugegriffen werden kann. Diese Station bietet eine umfassende Benutzeroberfläche für den Aufbau und die Überwachung der Maschine sowie für die Kommunikation mit anderen Systemen. Das Werkzeug verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie Gasabschaltung, Notausgang und Notstopp. TCP 9400 ist mit einer fortschrittlichen Plasmaätzanlage ausgestattet, die in der Lage ist, eine breite Palette von Substraten mit Leichtigkeit und Präzision zu ätzen. Dieses Modell vereinigt die letzten Technologien im Ätzen, und ashing, wie Hochleistungssauerstoffplasma ätzen, und Hochleistungsstickstoffplasma ätzt. Der Ätzer kann für verschiedene Operationen wie Oxidentfernung, Gegendotierung, tiefe Siliziumätzung, Eckrundung und Nutdefinition sowie andere Prozesse eingesetzt werden. LAM RESEARCH TCP 9400 verfügt auch über Mehrkammer-Ascher-Prozesse, die speziell entwickelt wurden, um sowohl Abscheide- als auch Ascheprozesse zu optimieren. Dies geschieht durch den Einsatz austauschbarer chemischer Quellen und Multi-Zooming-Fähigkeiten. Schließlich ist TCP 9400 mit einer erweiterten Sicherheitsfunktion ausgestattet, der automatischen Sicherheits- und Überwachungsausrüstung (ASAM). Diese Funktion scannt das Gerät, überwacht kontinuierlich die Prozessparameter und warnt den Benutzer, wenn während des Prozesses unsichere Bedingungen auftreten. LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher, der eine schnelle und genaue Verarbeitung von Substraten ermöglicht. Dieses System ist mit einem Scanhead zur präzisen Steuerung des Abscheideprozesses, einem erweiterten Plasmaätzer und einer Mehrkammer-Aschereinheit ausgestattet. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die sicherstellen, dass der Prozess sicher und effizient betrieben wird.
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