Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293608569 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400
ID: 293608569
ICP Etcher.
LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein Ätzer/Ascher, der ein Reaktantgas zum Ätzen oder Aschen von Merkmalen auf einer Oberfläche verwendet. Dieser Ätz-/Aschevorgang wird in einer thermisch chemischen Aufdampfkammer durchgeführt. TCP 9400 ist ein zuverlässiger und robuster Ätzer, der hilft, qualitativ hochwertige Funktionen mit sehr kurzen Zykluszeiten zu schaffen. LAM RESEARCH TCP 9400 wurde entwickelt, um eine Kombination aus hohem Durchsatz, Prozessgleichmäßigkeit und Präzision zu bieten. TCP 9400 verfügt über ein einzigartiges Kammerdesign, das im gesamten Arbeitsbereich sehr einheitliche Prozessbedingungen ermöglicht. Der Reaktor kann auch eine Vielzahl von Prozessgasen wie Chlor, Bortrifluorid und Stickstofftrifluorid handhaben. LAM RESEARCH TCP 9400 ist mit einem Gasstromregler ausgestattet, der eine präzise Steuerung der Prozessgasdurchflussraten ermöglicht. Zusätzlich kann der Innendruck der Kammer zur Optimierung der Ätz-/Aschegeschwindigkeit eingestellt werden. TCP 9400 ist eine einfach zu bedienende, kostengünstige Ausrüstung, die überlegene Ätz-/Aschegenauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Es weist auch einen verlängerten Arbeitsabstand auf, der für verschiedene Werkstücktypen geeignet ist. Das System verfügt über eine integrierte Vakuumzertifizierung, was bedeutet, dass eine einzelne Ätzung sowohl für das Vorätzen als auch für das Nachätzen verwendet werden kann. Zusätzlich verfügt es über eine wassergekühlte Plasmaquelle zur überlegenen Temperaturregelung und Prozessstabilität. Dies ermöglicht eine erhöhte Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit für komplexere Strukturen. LAM RESEARCH TCP 9400 ist mit einem leistungsstarken Oberflächenanalyse-Tool ausgestattet, das Echtzeit-Feedback zur Ätzleistung liefern kann. Das Tool verwendet Optical Emission Spectroscopy (OES), um die Ätztiefe und das Profil von Materialien zu messen. Es bietet auch die Überwachung des Zugriffs auf Prozessparameter wie Temperatur, Druck und Durchfluss. TCP 9400 ist zudem mit einer integrierten Datenerfassungseinheit ausgestattet, die die Aufzeichnung und Archivierung von Prozessdaten ermöglicht. Abschließend ist LAM RESEARCH TCP 9400 ein effizienter und zuverlässiger Ätzer/Ascher mit einem einzigartigen Kammerdesign und integriertem Prozessanalysetool. Es bietet ausgezeichnete Ätz- und Ascheleistung mit schnelleren Zykluszeiten und überlegener Genauigkeit. Die exzellente Steuerungsmaschine ermöglicht präzise Anpassungen von Prozessparametern und Datenerfassung.
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