Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293752333 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist eine vollautomatisierte, hochgenaue Ätz- und Aschemaschine für Substratreinigungs- und Vormetallisierungsprozesse. Dieses automatisierte System bietet hochwertige Prozesse für eine Vielzahl von Substraten, darunter Silizium, Glas und Quarz. Es eignet sich hervorragend für die gesamte Ätzrückverarbeitung und bietet eine ideale Plattform für die Metallabscheidung. TCP 9400 bietet eine Reihe von Funktionen, die es hocheffizient für die Substratätzung machen. Es verfügt über einen vollautomatischen Waferträger, der Substrate unter Verwendung eines Roboterarms in das alkalisch-saubere Prozessmodul ein- und ausbewegt, während ein eingebauter Controller den Entireetcher-Prozess überwacht und steuert. Die programmierbare Druckregelung des Geräts stellt den Druck in der Reaktionskammer automatisch ein, um das Substrat gleichmäßig und konsequent zu polieren. Zusätzlich arbeitet LAM RESEARCH TCP 9400 vollständig geschlossen, wobei alle inerten Komponenten zurückgewonnen und in den Ätzprozess zurückgeführt werden, um Abfall zu vermeiden. TCP 9400 verwendet zwei Ätzlösungen, um einheitliche Ätzraten über die gesamte Waferoberfläche zu gewährleisten. Jede Lösung enthält separate Regenenten für spezifische naßchemische Ätz- und chemisch-mechanische Polierprozesse. Dies gewährleistet eine optimale Benetzung der Substratoberfläche und ein gleichmäßiges Ätzen des Ausgangsmaterials, wodurch eine gleichmäßige Oberflächengüte erreicht wird. Zusätzlich verfügt es über eine Präzisionstemperaturregelmaschine mit Mikron-Genauigkeit zur präzisen Prozesssteuerung. Dieses Tool verfügt außerdem über eine integrierte optische Messtechnik zur Überwachung des Ätzprozesses. Es ermöglicht dem Bediener, den Fortschritt des Ätzprozesses und das Oberflächenprofil des Substrats in Echtzeit zu beobachten und zu überwachen. Der Ätzprozess wird auch über eine Online-Prozessdatenbank überwacht und aufgezeichnet, so dass der Benutzer Prozesstrends einsehen und auf Änderungen aufmerksam gemacht werden kann. LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein zuverlässiges, automatisiertes Ätz- und Aschermodell, das eine detaillierte Prozesskontrolle, genaue Ätzraten sowie eine Hochleistungssubstratreinigung und Metallabscheidung bietet. Seine Kombination aus Eigenschaften und Leistung macht es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Substratätzanwendungen.