Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293758208 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um eine fortschrittliche Ätz- und Ascheleistung zu liefern. Diese innovative Ausrüstung eignet sich ideal für Produktionsvolumen, hohe Fertigungsdurchsatzanwendungen wie Flachbildschirm (FPD) -Prozessschritte, 3D-Abscheidung/Ätzung, Photolithographie und MEMS-Geräteherstellung. Seit seiner Einführung hat sich TCP 9400 aufgrund seiner Flexibilität, Kapazität und robusten Funktionen zu einem sehr beliebten Ätzer/Ascher entwickelt. LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein integriertes Doppelkammersystem für präzise Musterübertragung, präzise Gasverteilung und breites Prozessfenster. Es verwendet die patentierte Advanced Recirculating Equalizing Gas (AEG) Einlasstechnologie, um einheitliche Gasverteilungen innerhalb der Einheit zu erzeugen. Diese Präzision schafft optimale Ätzleistung bei der Herstellung von FPD-Anwendungen hoher Dichte mit kleinen Line/Space (L/S) -Mustern. Das breite Prozessfenster der Maschine ermöglicht Tief-/Hochtemperaturätzen und eine sehr genaue Ätzrate/Profilleistung. TCP 9400 bietet eine hohe Durchsatzleistung mit Optionen für bis zu 50 Wafer/Zyklus. Es bietet auch 99-Einheiten hohe Kapazität Kassettenhandling, was hilft, den Durchsatz noch weiter zu erhöhen. Sein Hochtemperatur- und Direktantrieb ermöglicht einen schnelleren Wafertransport zwischen Kammern, was höhere Produktivitätsraten bedeutet. LAM RESEARCH TCP 9400 ist hochgradig konfigurierbar und ermöglicht es Kunden, Systeme an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. Es umfasst mehrere automatisierte Optionen für das Management von Warm- und Kaltlast-versus-Kammerzyklen, einschließlich der Verarbeitung von Warmwafern, der Kammeroptimierung und der automatischen Umschaltung von Quellmaterial. Es schließt auch eine Reihe von Front-End-Konfigurationen, wie Gruppenlader, Hitzeex-Wechsler, hohe/niedrige Temperaturquellmaterialabsender, Oblate ein, die Roboterkontrolle und Oblatensoftware der kartografisch darstellenden behandelt. Das Werkzeug ist auch mit benutzerfreundlichen zulaufwählbaren Gasreglern ausgestattet, so dass Bediener schnell die gewünschten Prozessgase auswählen können, ohne dass eine Programmierung erforderlich ist. Die Gasregler sind auch mit mehreren Gasen kompatibel, was bedeutet, dass Bediener leicht auf verschiedene Gase für verschiedene Prozesse umschalten können. Insgesamt ist TCP 9400 ein fortschrittliches integriertes Asset für Ätzer/Ascher, das auf Präzision bei hohen Volumina ausgelegt ist. Die überlegene Gasströmungstechnologie, die schnelle Durchlaufzeit und Flexibilität bieten Anwendern eine äußerst zuverlässige und effiziente Lösung.